<특집-세미콘코리아 99> 주요업체 출품작.. 어플라이드머티리얼즈 "프로듀서 시스템"

　세계 최대 반도체장비업체인 어플라이드머티리얼스는 이번 전시회에 기존 장비의 생산성을 획기적으로 향상시킬 수 있는 새로운 공정 플랫폼인 「프로듀서(Producer)」시스템을 주력상품으로 출품했다.

　프로듀서는 기존 매엽식 웨이퍼 공정기술의 이점과 여러장의 웨이퍼를 함께 다루는 멀티체임버 방식의 장점을 상호 결합한 혁신적인 구조로 웨이퍼 처리능력의 극대화를 통한 반도체 생산비용 절감에 초점을 둔 제품이다.

　이 시스템에 부착된 트윈 체임버는 독립된 환경에서 2장의 웨이퍼를 동시에 가공할 수 있으며 한개의 장비에 최대 3개의 트윈 체임버를 함께 부착할 수 있다.

　따라서 프로듀서는 중앙의 웨이퍼 전송로봇이 2장씩의 웨이퍼를 각각의 트윈 체임버에 전송하고 이를 통해 6장의 웨이퍼를 동시에 가공함으로써 시간당 1백장 이상의 빠른 웨이퍼 처리능력를 구현한다. 또한 이 장비는 원격 플라즈마 세정으로 지구온난화 물질을 발생시키지 않으며 현재 출시된 2백㎜ 웨이퍼용 장비을 300㎜용 제품으로 쉽게 업그레이드할 수 있다.

　이와 함께 어플라이드머티리얼스는 차세대 반도체 제조기술인 구리(Copper) 배선공정용 종합솔루션인 「Equipment Set Solution (ESS)」도 이번 전시회를 통해 선보인다.

　구리 배선용 ESS 모듈에는 새로운 저유전율 절연막 증착장비인 「블랙 다이아몬드」와 절연막 식각장비 「IPS Centura」 그리고 「Endura Electra Barrier/Seed Cu」 「Mirra CMP」 「SEMVision」 등의 각종 공정 진단 및 제어장비들이 포함돼 있다.