<특집-세미콘코리아 99> 주요업체 출품작.. 이오테크닉스 "웨이퍼 마킹장비"

　반도체 마킹장비 생산업체인 이오테크닉스는 웨이퍼의 식별번호(ID) 인쇄에 사용되는 레이저 마킹시스템을 이번 전시회에 출품했다.

　이 장비는 Nd;YAG 레이저를 이용, 4∼8인치 웨이퍼에 ID를 비롯한 각종 제품사항을 인쇄하는 마킹시스템으로 인쇄 대상물과 직접 접촉하지 않고도 정밀한 마킹이 가능하다.

　다양한 폰트의 문자 인쇄가 가능한 이 장비는 2개의 로봇을 채용, 웨이퍼 핸들링 시간을 최소화함으로써 시간당 최대 2백40장의 웨이퍼를 처리할 수 있으며 각종 파티클로부터 웨이퍼가 오염되지 않도록 클라스1 수준의 고청정 클린룸 환경도 제공한다.

　또한 네트워크를 통한 종합적인 데이터 관리기능과 함께 공정 자동화를 위한 SECS(Semiconductor Equipment Communication Standard)통신 프로토콜도 지원한다.

　이와 함께 이오테크닉스는 듀얼 헤드를 장착, 기존보다 2배 이상 생산성을 높인 마이크로BGA용 레이저 마킹시스템도 선보인다.

　이 장비는 1㎜ 크기의 문자를 초당 6백자까지 인쇄할 수 있는 초고속 제품으로 램프 가열(Lamp Pumping)방식의 기존 레이저 장비와는 달리 다이오드 레이저 소스를 채택, 안정적인 레이저 출력과 선명한 마킹기능을 구현한다.

　이오테크닉스는 마이크로BGA용 장비를 비롯한 각종 레이저 마킹장비를 연간 50대 이상씩 생산, 국내는 물론 해외 반도체업체에 본격 공급해 나갈 계획이다.