케이씨텍, 에칭 장비용 정전척 개발

　반도체 장비업체인 케이씨텍(대표 고석태)은 반도체용 에칭 장비에 부착되는 필수 소모품 가운데 하나인 정전척(ESC:Electrode Static Chuck)을 개발, 본격적인 공급에 나선다.

　정전척(ESC)은 반도체 제조과정 중 에칭 공정에서 정전기를 이용해 웨이퍼를 고정시키는 기능과 함께 하부전극(Lower Electrode)으로서 역할도 수행하는 고가의 소모성 제품으로 기존의 기계적 웨이퍼 고정 장치보다 한단계 발전된 형태다.

　특히 이번에 개발된 정전척은 전기적 성능이 우수하면서도 가격면에서 기존 외산 제품보다 30% 이상 저렴해 현재 전량 수입 사용되고 있는 이 제품의 본격적인 국산 대체가 가능할 것으로 회사측은 보고 있다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>