AMK, 새 레티클 검사장비 출시

　반도체장비 공급업체인 어플라이드머티리얼즈코리아(대표 이영일)는 새로운 전산 구조 및 인터페이스 기능의 채택으로 기존보다 2배 이상 높은 성능을 구현한 레티클 검사장비 「RT-8200」를 본격 출시한다.

　반도체 노광공정용 마스크 재료인 레티클의 회로패턴을 검사하는 이 장비는 새로운 이미지 획득 기술 및 선폭 에러 검출(LWED) 알고리듬을 통해 레티클의 초미세 결함까지 탐지 가능하며 2차 영상가공 채널과 특수 카메라를 채택, 패턴 데이터의 전송 속도를 2배 이상 향상시켰다.

〈주상돈 기자〉