[특집-SEMICON WEST 98] 주요업체 출품작.. 웨이퍼 세정장비

베르텍 "웨이퍼 세정장비"

반도체 세정장비 전문업체인 베르텍이 출품한 CMP공정 후 세정장비인 「골드핑거」는 이 회사가 보유한 초음파 세정기술인 메가소닉을 이용해 웨이퍼를 한 장씩 세척하는 비접촉식 세정장비다.

메가소닉 세정장비는 9백80~1천㎒의 초고주파를 이용, 반도체 웨이퍼의 미세먼지와 불순물을 제거하는 첨단제품이다.

베르텍이 출품한 골드핑거는 세정모듈, 에칭모듈, 로봇모듈, 스크러버모듈 등 모듈 단위로 구성돼 있어 다른 CMP 장비와도 자유롭게 조합해 사용할 수 있다는 것이 최대 장점이다.

특히 공정 진행시 웨이퍼 직경의 절반만을 덮어주도록 설계돼 초음파 에너지를 웨이퍼 표면에 고르게 전달할 수 있어 세척효과를 극대화하는 동시에 각종 파티클의 재흡착이나 확산을 방지할 수 있다.

이 장비로부터 전달되는 초음파에너지는 웨이퍼 표면에 분사되는 희석된 화학물질을 뒷면까지 분사해 작업효율을 높일 수 있다. 또한 단일 평판타입의 연마장비와 함께 사용되는 스크러버 모듈은 두 개의 스크러버만으로 웨이퍼의 양면을 동시에 세정할 수 있도록 설계된 것이 특징이다.