[특집-SEMICON WEST 98] 주요업체 출품작.. 웨이퍼 이송장치

신성이엔지 "웨이퍼 이송장치"

클린룸 설비 전문업체인 신성이엔지는 최근 개발한 자동카세트 방식의 웨이퍼이송장치(Sorter)와 차세대 클린룸 설비인 SMIF(Standard Mechanical Interface) 시스템용 초소형 클린룸 장치(Mini Environment)를 선보였다.

이 회사가 개발한 웨이퍼 자동이송장치는 웨이퍼 일관가공(FAB) 공정 가운데 웨이퍼 손상을 최소화하기 위해 특정 카세트에서 임의의 카세트로 자동이송, 정렬시켜 주는 일종의 핸들링 머신이다. 8인치 카세트용 4개 포트를 보유한 이 제품은 광문자(OCR) 인식을 이용한 ID판독과 윈도95 운용체계의 쉬운 인터페이스를 구현한 것이 특징이다.

또한 SMIF 시스템은 노광 및 에칭 등 초청정 환경이 요구되는 일부공간만을 클래스1 이하의 초청정상태로 유지함으로써 전체 클린룸 설비의 효율을 극대화하는 국부 클린룸 설비다.

이중 신성이 개발, 출품하는 초소형 클린룸 장치는 웨이퍼를 담는 용기인 밀폐형 퍼드(Pod)와 웨이퍼를 이동시키는 로더 및 언로더 장치 등과 함께 전체 SMIF 시스템을 이루는 핵심장비로 기존 외산제품에 비해 소음 및 진동이 적고 정전기 방지 기능 등이 우수하다고 회사측은 설명했다.