[특집-SEMICON WEST 98] 주요업체 출품작.. 300㎜ 웨이퍼

LG실트론 "300㎜ 웨이퍼"

웨이퍼 업체인 LG실트론은 이번 전시회에 차세대 웨이퍼인 3백㎜ 대구경 폴리시드 웨이퍼를 비롯해 에피텍셜 웨이퍼, SOI(Silicon on Insulator)웨이퍼 등을 출품했다.

이 가운데 관람객들의 눈길을 붙잡는 제품은 단연 3백㎜ 폴리시드 웨이퍼 제품. 자체기술력으로 국내에서 처음 개발된 이 제품은 2백56MD램 제품부터 본격 적용될 것으로 보이는 차세대 실리콘 웨이퍼로 현재까지 일부 외국업체만이 개발한 첨단 제품이다.

이와 함께 출품된 에피웨이퍼는 기존 실리콘웨이퍼 위에 화학증착법을 이용해 또다른 단결정막을 성장시킨 것으로 표면결함이 적고 전기적 특성이 우수해 향후 고부가가치 비메모리 제품과 64MD램 이상의 고집적 메모리 제조에 확대 채용될 것으로 기대되는 차세대용 웨이퍼 제품이다. 특히 이 제품은 기존 실리콘 웨이퍼 제품보다 넷 다이나 수율면에서 약 10% 정도 우수하다는 것이 LG실트론측의 설명이다.

또한 실리콘 웨이퍼속에 절연 박막을 삽입시킨 개념의 SOI웨이퍼는 실리콘 웨이퍼 기판위에 절연막이 있고 다시 그 위에 집적회로가 제작될 단결정 실리콘 필름을 입힌 상태로 고온 특성, 저소비전력 특성, 고속특성 등을 지닌 TFT LCD 및 CMOS, 바이폴라 CCD, HDTV, 포토디텍터 등에 사용된다