[특집-SEMICON WEST 98] 주요업체 출품작.. 가스 공급시스템

케이씨텍 "가스 공급시스템"

가스장비 전문 생산업체인 케이씨텍은 반도체 주변장비인 가스공급시스템(Gas Cabinet)과 이 장비의 핵심부품인 가스압력조절기(VMB) 및 벌브 제품을 이번 전시회를 통해 선보였다.

가스 캐비닛은 반도체용 특수가스를 소정의 압력을 이용해 생산장비에 공급해 주는 장치로 최근 CE마크를 획득한 이 회사의 가스 캐비닛은 가스 공급의 안정성을 높였으며 장비 운영중에 필요한 각종 정보를 자체 마이크로프로세서 및 터치패널을 통해 사용자가 쉽게 관리할 수 있도록 만든 것이 특징이다.

또한 이 회사가 개발한 가스압력조절기는 가스공급량을 적절하게 유지하고 압력을 조절할 수 있는 반도체 장비용 핵심부품으로 유독가스의 외부 누출과 잔고장이 없으며 먼지 발생 등 외부 불량요인에 강한 것이 장점이다.

이와 함께 케이씨텍은 반도체 제조공정에서 발생하는 납, 구리, 비소, 수은 등 각종 독성물질을 전기연소 또는 분진형태의 가검물로 정화처리해 주는 드라이 가스 스크러버 제품도 출품했다.

또한 이 회사는 5 이상의 불순물을 함유한 일반 가스를 반도체 제조에 필요한 1ppb이하의 고순도 가스로 정제시키는 초고순도 가스정제장비(Purifier)도 선보여 눈길을 끌었다.