한국DNS, "스핀 스크러버" 출하 100대 돌파

반도체 장비업체인 한국DNS(대표 김광교)는 자사가 생산하는 반도체 웨이퍼용 세정장비인 「스핀 스크러버」 제품의 누계 출하 대수가 최근 1백대를 돌파했다고 23일 밝혔다.

「스핀 스크러버」는 브러쉬 및 초음파를 이용, 반도체 웨이퍼에 붙어 있는 각종 오염 물질들을 세정해 내는 제품으로 반도체 수율 및 신뢰성 향상과 직결되는 반도체 제조용 핵심장비이다.

지난 93년 국내 삼성전자와 일본 DNS가 합작으로 설립한 한국DNS는 94년 8월 「스핀 스크러버」 제품의 첫 출하를 시작해 현재는 각종 반도체용 세정장비와 함께 트랙 및 LCD용 장비들도 개발, 생산하는 국내 최대 반도체 장비업체이다.

<주상돈 기자> .