한택, i라인용 리소그래피 장비 수입 공급

스테퍼 공급업체인 한택(대표 한종훈)이 네덜란드 ASML社가 최근 개발한 스텝앤스캔(Step & Scan) 방식 i라인용 리소그래피 장비인 「PAS 5500/400」을 본격 국내 공급한다.

0.28 미크론 이하의 높은 해상 능력을 지닌 이 제품은 현재 주종을 이루고 있는 i라인용 노광장비로 시간당 96장의 웨이퍼를 처리할 수 있는 초고속 제품이다.

또한 같은 회로를 한장씩 여러번 찍어내던 기존의 스텝 방식과는 달리 복잡한 회로를 하나씩 그려 나가는 스텝앤스캔 방식을 채택함으로써 초미세 회로 공정에 적용 가능하고 26X33㎜의 넓은 필드 사이즈를 제공한다.

ASML은 이번 스텝앤스캔 방식 i라인용 제품의 출시로 DUV용인 「PAS5500/500」 모델을 포함, 총 2개의 스텝앤스캔 방식 리소그래피 장비를 보유하게 됐다.

<주상돈 기자>