[세미콘재팬 97] 주요업체 출품작.. 고베제작소

일본 고베제작소는 반도체 테스트 웨이퍼로 사용 수명이 실리콘 웨이퍼의 최대 30배인 고밀도 아모퍼스 카본(UDAC) 웨이퍼를 출품했다.

이 웨이퍼는 UDAC를 초고온으로 열처리해 밀도와 순도를 높인 제품으로 UDAC의 가장 큰 특징인 강산에 강하다는 점을 살려 재생횟수를 크게 증가시켰다. 이 제품의 장점은 수명이 매우 길어 테스트 웨이퍼의 대폭적인 사용량 절감이 가능하다는 점과 실리콘 웨이퍼에 비해 순도와 강도는 높으면서도 가격은 저렴하다는 점이다.

고베제작소는 이와 동시에 자사 고유기술인 자기디스크 연마기술과 표면처리기술을 기초로 기존 재생 프로세스에 비해 재생횟수가 압도적으로 높은 새로운 기술도 선보였다. 이 새로운 프로세스는 웨이퍼 재생을 위한 성막 제거시의 가공 손실이 거의 없어 재생횟수를 비약적으로 증가시킬 수 있다.

재생 가능 횟수는 8인치웨이퍼의 경우 10∼12회, 12인치웨이퍼의 경우 5회로 수명이 기존보다 3.5배 이상 길며 막의 재질에 관계없이 모든 종류의 웨이퍼에 적용할 수 있다.