[세미콘재팬 97] 주요업체 출품작.. 일드업

미국의 신생 반도체 장비업체인 일드업社는 자사 특허인 정전기 방식 세정기술을 이용한 반도체 세정장비 「오메가 2000」과 「오메가 4000」을 출품했다.

이들 제품은 2백 및 3백 웨이퍼와 플랫 패널 디스플레이(FPD) 등 대형기판 가공용으로 설계돼 있으며 0.25미크론 이하 단위의 먼지까지 제거할 수 있는 고기능 장비들이다. 또 오메가 시리즈는 웨이퍼 세척시 가동 부품이나 기계적인 동작을 전혀 사용하지 않도록 설계돼 웨이퍼 및 기판의 손상을 최소화했다.

「오메가 2000」의 특징은 자기정화기능이 부착된 2백 및 3백용 가공실을 별도로 갖고 있으며 대부분의 반자동 또는 전자동 혼합식 작업대와 인라인화시킬 수 있는 독자 시스템이라는 점이다.

또한 「오메가4000」은 실시간 윈도 환경에서 작동되는 독립형 세정 및 건조장비로 화학적 기계적 연마(CMP) 관련 각종 세정공정에도 사용 가능하다.