[세미콘재팬 97] 주요업체 출품작.. 노벨러스시스템스

미국 노벨러스시스템스는 3백 웨이퍼에 절연막을 형성하는 각종 화학적증착장비(CVD)를 출품했다.

이번 전시회에 선보인 제품은 노벨러스의 자체 장비 개발 콘셉트인 「3TM 아키텍처」를 기초로 한 「C3-SPEED」 「C3-SEQUE」, 그리고 「C3-ALTUS」 등 3개 모델이다.

이들 3개 장비는 업계 최대급 처리용량과 성막 형성 능력을 보유하고 있어 0.18미크론 이하급 디바이스 제조에까지 활용 가능하며 3백 웨이퍼 공정에 대응한 한층 진보된 웨이퍼 핸들링 및 로봇 기술을 채용하고 있다는 것이 노벨러스측의 설명이다.

특히 이들 제품은 이미 양산공정에서 사용되고 있는 노벨러스 자체의 장비 설계 사양을 그대로 계승하고 있어 2백에서 3백로 이행하는데 따른 장비 도입의 위험을 최소화했다.