주성엔지니어링, LP CVD 해외공략 본격화

반도체 장비업체인 주성엔지니어링(대표 황철주)이 자체 개발한 저압 화학적증착장비(LP-CVD) 「Eureka2000」의 본격적인 해외 수출에 나선다.

이 회사는 최근 대만지역 M소자업체에 3백만달러어치 상당의 LP-CVD를 수출한 데 이어 오는 연말부터 삼성전자 미국 오스틴 공장과 LG반도체 영국 공장에 대한 본격적인 제품 공급에 착수할 계획이라고 29일 밝혔다.

또한 이 회사는 이번 대만지역 수출을 계기로 내년까지 이 지역에 총 5천만달러어치 이상을 추가 공급키로 잠정 합의했으며 국내 소자업체의 미국 및 유럽지역 공장들에 대한 추가 수출도 현재 협의중이다.

주성엔지니어링은 이에따라 미국 오스틴 지역에 최근 AS사무소를 개설한 데 이어 내년에는 미국 유진과 영국 지역에도 연락사무소를 열고 동남아 및 미국에서 개최되는 각종 반도체 관련 전시회에도 적극 참여할 계획이다.

또한 수출 물량 확대에 대비, 최근 완공한 경기도 광주공장의 본격적인 가동과 함께 내년 상반기에는 부지 1천평 규모의 제2공장도 건설할 방침이다.

주성이 수출하는 「Eureka2000」은 웨이퍼를 낱장 처리하는 매엽방식 제품으로 온벽(Warm Wall)타입의 챔버와 저항가열방식의 기판을 이용, 웨이퍼에 폴리실리콘 또는 나이트라이드 등의 각종 화학물질을 증착시키는 장비다.

특히 반구형 결정 실리콘(HSG:Hemi Spherical Grain) 증착 공정에 대응하는 이 장비는 올해들어 국내 소자업체 양산라인에 본격 채택되기 시작해 ASM, 고쿠사이, 어넬바 등 외국 유명 CVD업체들을 제치고 현재 국내시장의 60% 이상을 점유하고 있다.

황철주 사장은 『이러한 국내시장에서의 성공을 바탕으로 적극적인 해외시장 공략에 나서 내년부터 해외수출을 통한 매출 비중을 국내매출보다 더 높게 유지할 계획』이라고 밝혔다.

지난 93년 설립된 주성엔지니어링은 지난해 LP-CVD를 개발, 총 83억원의 매출을 올린 데 이어 올해는 4백50억원의 매출이 예상되는 반도체 장비업체다.

<주상돈 기자>