삼성종합기술원, 초소형 慣性센서 첫 개발

삼성종합기술원(원장 임관)은 2축 마이크로 자이로스코프와 고감도 가속도 센서로 구성된 극소형 관성센서를 세계 처음으로 개발했다고 19일 밝혔다.

관성센서는 회전운동으로 발생하는 각속도와 직선운동에 따르는 가속도를 미세한 움직임까지 동시에 감지하는 센서로 정교한 움직임을 필요로 하는 선박, 비행기, 자동차의 자세제어나 항법장치 등에 활용되는 고부가가치 제품이다.

삼성종기원이 개발한 관성센서는 1초당 0.05도까지의 각속도 변화와 중력가속도의 1천분의3 크기(0.03m/sec²)의 변화를 감지할 수 있는 성능을 가지고 있으며 특히 반도체 박막공정에 의한 표면미세가동 방식으로 제작된 2×2mm의 자이로스코프와 가속도 센서가 실장돼 초소형 제작이 가능, 교통수단의 항법장치는 물론 전자펜 등 소형기기까지 응용할 수 있다.

관성센서가 내장된 2축 마이크로 자이로스코프는 각속도 센서 2개를 단일 칩화 한 것으로 좌우 및 상하 회전 운동을 동시에 측정할 수 있어 캠코더의 손떨림 방지나 3차원 마우스, 가상현실용 HMD(Head Mount Display) 등에 활용할 수 있다.

또 가속도 센서는 초소형 진동구조물을 실리폰웨이퍼 위에 제작한 것으로 가속도가 인지될 경우 발생하는 진동이나 충격을 측정하는 기능을 가지고 있어 자동차 에어백, 전자식 현가장치 등에 필수적인 부품이다.

삼성종합기술원은 이번 극소형 관성센서와 관련된 30여건의 기본 특허를 국내외에 출원했다.

<최승철 기자>