삼신정밀, 반도체용 차세대 DLC코팅 기술 개발

반도체 제조용 금형 및 치공구의 내마모성을 획기적으로 개선시킬 수 있는 차세대 DLC(Diamond Like Carbon Film)코팅 기술을 국내의 한 중소업체이 개발했다.

박막코팅 전문업체인 삼신정밀(대표 신명우)은 지난해 11월부터 10개월간 6억여원의 자금을 투입, BGA(Ball Grid Array)툴, 폼다이(Form Die), 트리밍펀치, 몰드캐비티(Mold Cavity) 등 반도체 관련금형에 적용, 성능을 크게 높일 수 있는 DLC코팅기술을 국내 처음으로 자체 개발하는데 성공했다고 10일 밝혔다.

높은 경도와 내마모성, 윤활성, 전기절연성, 화학적안정성, 광학특성 등 다양한 기능성 특징을 갖고 있는 다이아몬드와 유사한 상(Like)을 금속에 표면처리하는 DLC코팅은 최근 상용화해 VCR의 헤드, 드럼에 주로 적용돼 왔으나, 반도체금형용으로 개발된 것은 일본 도시바에 이어 삼신정밀이 세계 두번째라고 회사 측은 설명했다.

이에 따라 삼신정밀은 리드프레임 리드밴딩머신용 폼다이와 BGA툴 등에 우선 적용키로 하고 인천남동공장에 박막제조설비, 공구현미경, 진공건조기, 초음파세척기, 광택기 등 관련 장비를 구축, 관련 업체인 A社의 샘플승인을 거쳐 최근 본격 공급에 착수했다. 이와 함께 H사, S사, L사, M사, G사 등과도 활발히 접촉중이다.

그동안 반도체업계에서는 관련 금형의 내마모성 향상을 위해 주로 습식 경질크롬코팅방식을 사용해 왔으나 수명이 짧고 불량률이 높은 데다 이형성 개선을 위한 이형재 사용에 따르는 잔사 등 여러 문제점이 발생, 일본 도시바를 시작으로 반도체업계에 DLC코팅기술이 새로운 대안으로 떠오르고 있다.

이태영 삼신정밀 상무는 『아세틸렌, 질소, 산소 등의 DR(증발비율:Deposition Ratio)컨트롤 기술을 핵심적으로 응용해 개발, 자체 평가결과에서도 일본 도시바 기술보다 특성이 우수한 것으로 나타났다』며 『DLC코팅이 가격은 상당히 비싸지만 종전보다 수명(3배), 생산성(2배), 불량률(1백PPM 이하) 면에서 월등히 유리해 반도체업체들이 DLC로 돌아설 경우 장차 연간 1천만 달러의 수입대체가 가능하다』고 말했다.

한편 지난 94년 3월 창업한 삼신정밀은 94년 10월 국내 처음으로 VCR헤드용 DLC코팅기술을 개발한 것을 시작으로 국내 DLC관련기술을 선도해왔으며 이외에도 티타늄(Ti), 지르코니아(Zr), 알루미늄(Al), 크롬(Cr)박막코팅 기술도 보유, 올해 약 25억원, 내년에는 40여억원의 매출을 기대하고 있다. 문의:(032)8158251∼3.

<이중배 기자>