DUV용 트랙 장비 양산라인 채택 본격화

64MD램 이상의 고집적 반도체 제조를 위한 DUV(Deep Ultra Violet) 노광공정용 트랙장비의 채택이 본격화되고 있다.

16일 관련업계에 따르면 삼성, 현대 등 국내 주요 반도체 소자업체들이 최근 64MD램 생산을 위한 반도체 라인 증설 및 개조시 기존 i라인용 노광장비 대신 DUV 공정장비를 잇따라 채택함에 따라 DUV용 포토레지스트의 도포 및 현상장치인 DUV용 트랙장비의 수요도 큰 폭으로 증가하고 있다.

이에 따라 동경일렉트론(TEL), 한국DNS, 한국SVG, FSI 등 국내 주요 트랙장비 공급업체들도 DUV용 트랙장비시장 선점경쟁에 본격적으로 나서고 있어 국내 트랙장비시장은 기존 i라인용 중심에서 DUV용 장비 위주로 급전환되고 있다.

DUV용 트랙장비는 KrF 엑시머 레이저에 대응하는 DUV용 포토레지스트를 웨이퍼에 도포한 후 이를 다시 현상하는 코터&디벨로퍼 장비로 회로선폭 0.25미크론 이하의 패턴 형성이 가능한 DUV 프로세스용 핵심장비다.

현재 국내 트랙장비시장의 60% 이상을 점유하고 있는 동경일렉트론코리아는 시간당 최대 1백20장의 웨이퍼를 처리할 수 있는 DUV용 트랙장비 「CLEAN TRACK ACT-8」을 출시하는 한편 연내에 3백㎜ 웨이퍼용 「CLEAN TRACK ACT-12」도 본격적으로 출시함으로써 i라인에 이어 DUV시장에서도 선두 위치를 고수한다는 전략이다.

한국DNS는 현재 자체 생산중인 i라인용 트랙장비인 「SK-W80B」를 DUV용 프로세스에까지 대응가능한 제품으로 기능을 향상시키는 한편 일본 DNS로부터 DUV 프로세스용 트랙장비 「D-Spin200」을 도입, 국내에 시판하고 점차 이 장비의 자체 개발 및 생산도 추진할 방침이다.

그동안 주로 국내 소자업체의 연구소 등에 DUV용 트랙장비를 공급해온 한국SVG도 최근 국내에서도 DUV용 프로세스의 도입이 본격화되고 있는 데 대응, 자사의 DUV용 스테퍼와 트랙장비를 패키지화해 양산라인용으로 본격적으로 공급을 추진할 계획이다.

이밖에 미국 FSI가 현재 국내 매트론코리아를 통해 DUV용 트랙장비의 공급을 추진중이며, 일부 유럽업체들도 관련장비를 국내에 선보이며 시장참여를 모색중인 것으로 알려졌다.

<주상돈 기자>