태양테크, 웨트스테이션용 간접 히팅 장비 개발

반도체 장비업체인 태양테크(대표 조현기)가 웨트스테이션용 간접 히팅 장비인 「CS-Heater」를 개발, 본격적으로 생산한다.

웨이퍼 세척에 사용하는 각종 화학약품을 일정 온도 이상으로 가열시키는 이 장비는 기존 세척용기 내의 쿼츠 히터에 의한 직접 히팅 방식이 아닌 별도의 시스템을 통한 간접 히팅 방식을 채택함으로써 히터의 잦은 파손으로 인한 웨이퍼의 손상 및 필터오염을 미연에 방지한 것이 특징이다.

또한 이 장비는 2백8V 전원의 전기 히팅 방식으로 안정된 온도유지와 가열 소요시간 단축을 가능케 했으며, 장비 공급시 별도의 모듈형태로 제공됨으로써 전체 웨트스테이션 시스템의 효율적인 관리 및 운영이 가능하다.

이 회사는 이번에 개발한 히터를 적용 화학약품 및 필요온도에 따라 「CIH2-2000」 「3000」 「4000」 등 총 3개 모델로 출시하고 별도의 주문을 받아 특수용도 생산할 방침이다.

<주상돈 기자>