PSK테크, 마이크로파 애셔장비 개발

반도체장비업체인 PSK테크(대표 박경수)가 1기가 D램 시대에 대응하는 마이크로파 애셔(ASHER) 「DAS-II」를 개발, 본격 생산한다.

반도체 제조의 리소그래피 공정중 웨이퍼에 도포된 포토레지스트를 세척하는 데 사용되는 이 장비는 기존의 배치(Batch) 형태가 아닌 웨이퍼를 낱장 처리하는 매엽(Single Type) 방식을 채택, 애싱 충격으로 인한 소자의 손상을 최소화한 것이 특징이다.

2개의 반응 챔버를 통해 시간당 1백20장의 웨이퍼를 처리할 수 있는 이 장비는 또한 2백㎜ 웨이퍼를 기준으로 10개 이하의 낮은 파티클 발생률과 초당 3.0 미크론 이상의 높은 애싱률을 구현한다.

이 회사는 다음달 국내 H 반도체업체에 이 장비를 납품, 성능시험을 거친 후 오는 하반기부터 본격적인 양산에 착수할 방침이다.

<주상돈 기자>