태양테크, 반도체장비 부품 세척.건조 장비 출시

반도체장비업체인 태양테크(대표 조현기)가 반도체장비 부품용 세척 및 건조 장비 「TY-BCS-5000」를 개발,출시한다.

이 장비는 반도체 제조 과정의 노광 및 증착 공정에서 사용되는 각종 소모 부품을 화학약품으로 세척한 후 이를 다시 내부 실린더와 오븐 히터를 이용해 건조하는 장비로 세척 및 건조 공정을 하나로 통합해 원가 절감과 함께 작업 시간 및 인력 단축에 따른 생산성 향상을 실현했으며 장비 설치 공간도 최소화했다.

이 회사는 최근 이 장비 개발과 관련된 각종 기술들을 「부품 세척 및 건조 시스템」이라는 이름으로 특허 출원하는 한편 이달부터 본격적인 제품 생산에 착수할 방침이다.

<주상돈 기자>