日 미쓰비시, 12인치웨이퍼 사용 D램공장 99년까지 건설

일본 미쓰비시전기가 업계 최초로 12인치웨이퍼를 사용하는 D램 양산공장을 건설키로 했다.

일본 「電波新聞」에 따르면 미쓰비시는 올해부터 99년까지 총 3천억엔을 투자해 고우치사업소내에 12인치 웨이퍼를 사용하는 제 2공장을 건설한다.

미쓰비시는 이를 위해 최근 고우치 제 1공장 옆에 3만6천평방미터의 제 2공장 부지를 확보하고 올해 착공해 99년 완공할 계획이다. 이 제 2공장은 2백56M와 1G D램의 양산거점이 될 것으로 보인다.

반도체업계가 양산 공장에 12인치 웨이퍼를 채용키로 표명한 것은 이번이 처음으로 미쓰비시는 이 공장을 초미세가공이 가능한 X선 노광기술도 사용할 수 있는 라인으로 설계할 계획이다.

미쓰비시는 이 공장에 도입할 제조장비 및 재료는 현재 반도체 및 장비업체,재료업체 등 관련업계가 추진하고 있는 표준화 및 평가 결과에 따라 차후 결정할 방침이다.

<심규호 기자>