PMT&일렉트로테크코리아, 플로필 CVD 공급

PMT&일렉트로테크코리아(대표 김태수)가 액체상태의 특수물질을 이용, 웨이퍼의 미세증착 및 고도평탄화가 가능한 플로필(Flowfill) CVD 「Planar 200」을 국내에 공급한다.

반도체 제조공정의 웨이퍼 증착과정중 금속층간의 절연막인 IMD(Inter Metal Dielectric)막을 형성하는 데 사용되는 이 장비는 기존 CVD 장비들과 달리 고체가 아닌 액체상태의 물질을 사용함으로써 증착되는 절연막의 깨짐 및 수포발생 현상을 최소화한 새로운 형태의 화학증착 장비다.

2백56MD램 이상에 대응가능한 이 장비는 형성되는 증착막의 절연도가 2.0 이하로 기존 장비들에 비해 2배 이상 낮을 뿐만 아니라 고도로 평탄화된 표면을 형성함으로써 화학, 기계적 연마(CMP) 등의 추가공정이 필요없다고 회사측은 밝혔다.

<주상돈 기자>