한택, DUV용 스텝&스캔 시스템 공급

미국 ASM리소그래피社의 대리점인 한택(대표 한종훈)이 회로선폭 0.22미크론 수준의 DUV용 스텝 & 스캔(Step & Scan)시스템 「PAS 5500/500」을 국내에 공급한다.

ASML의 이 시스템은 이미지 전체를 한꺼번에 노광시키는 기존 스테퍼와 달리 DUV 광선을 초당 2백50㎜의 속도로 레티클과 함께 움직이며 투사해 26x33㎜의 넓은 이미지 필드를 형성,2개 이상의 1GD램 또는 첨단 마이크로프로세서 제조가 가능하다.

이 장비는 또한 제 4세대 레이저 빔 공급 시스템 및 특수 광학 기술을 채택,렌즈 전체가 아닌 최적 영역만을 이용하기 때문에 고가의 렌즈를 사용하지 않고도 웨이퍼 위에 투사되는 필드 사이즈를 최대화 시켰으며 레티클 및 웨이퍼 스테이지를 고속 작동시킴으로써 시간당 96장의 웨이퍼를 처리할 수 있다.

한택은 이 제품 공급을 계기로 64MD램 등 고집적 반도체의 양산 개시와 함께 올해 부터 수요가 급증할 것으로 예상되는 DUV용 스테퍼시장 개척을 본격화할 방침이다.

<주상돈 기자>