미 퓨전시스템, 한국서 반도체장비 생산

세계적인 반도체 장비업체인 퓨전(FUSION)시스템사가 빠르면 연내에웨이퍼상에 포토 레지스트를 코팅해 굽는 자외선 가열장비와 이를 식각하는장비 플라즈마 애셔(ASHER)를 국내에서 생산한다.

퓨전사는 한국 및 동남아지역 수요 급증세에 대응해 한국을 생산기지로 적극육성한다는 방침아래 최근 경기 안성지역에 1천평의 부지를 확보, 10월까지조립공장을 완공하고 연말부터 포토 레지스트 도포장치와 식각장치를 시생산할 계획이라고 29일 밝혔다.

퓨전은 이를 위해 한국 현지법인인 퓨전퍼시픽의 자본금을 현재 2억원에서10억원으로 증자하는 등 총 30억원을 투입할 예정이며 조립공장내에는 1백50평 규모의 청정도 클래스 1백수준의 클린룸도 갖출 방침이다.

이 회사가 국내에서 생산할 제품은 자외선을 이용, 열 변형없이 포토 레지스트를 웨이퍼에 균일하게 입힐수 있는 자외선 가열장비(UV BAKE)와플라즈마 및 오존을 이용한 스트리퍼장비인 애셔 등이다.

이들 장비들은 시간당 8인치 웨이퍼 1백장 이상을 처리할 수 있을 정도로생산성이 우수하고 크기도 작아 설치가 용이한 게 특징이며 또 장비간 부품공유도도 50%를 넘어 경쟁력이 높은 것으로 알려졌다.

한편 퓨전퍼시픽은 수요업체인 소자업체와 부품공급업체 등 협력업체들의적극적인 참여를 유도, 단순조립을 시작으로 3년내에 제품 국산화율을 50%수준까지 끌어올릴 계획이다.

<김경묵기자>