일, 레이저광선 파장 짧은 광선 변환 새 결정개발

일본의 미쓰비시머티어리얼사.이화학연구소.도호쿠대학 등의 공동연구팀이레이저광선을 파장이 더 짧은 광선으로 변환시키는 새로운 결정을 개발했다고 "일본경제신문"이 최근 보도했다.

이 결정을 이용하면 취급이 비교적 간편한 고체레이저장치에서 얻을 수 있는광선을 자외선영역의 광선으로 변환시킬 수 있어 마이크로머신 및 차세대반도체제조 등의 분야에서 폭 넓게 이용될 것으로 기대되고 있다.

이 결정은 4붕산리튬으로 일반적인 YAG(이트륨 알루미늄 가네트)레이저광선이 이 결정을 통과하면 파장이 4분의1인 2백66나노미터(1나노는 10억분의1)와 5분의1인 2백13나노미터로 짧아져 원자외선으로 변환된다.

파장 2백13나노미터 광선의 출력은 세계최대급인 0.7W로 미세가공 등에이용될 수 있다. 또 이 결정은 반도체에 사용하는 실리콘결정과 같은 방법으로양산할 수 있어 실용성이 높은 것으로 알려지고 있다.

현재 실용화되고 있는 단파장 레이저는 파장 2백48나노미터인 엑시머레이저로 이 레이저는 가스를 방전시키는 방법을 이용해 광선을 얻기 때문에 대형장치가 필요하다. 이에 반해 새로 개발된 결정을 이용한 고체레이저는 장치의 소형화가 가능하다는 것이 장점이다.

<심규호기자>