ASM리소그래피, 원자외선 스테퍼 공급

ASM 리소그래피사가 2백56MD램 양산용 원자외선(DUV)스테퍼를 국내에 공급한다.

스테퍼 전문업체인 ASM 리소그래피사는 0.25um의 해상력으로 시간당 80장이상의 8인치 웨이퍼를 가공할 수 있는 원자외선 스테퍼 "PAS 5500 300"를 올 하반기부터 한국시장에 본격 공급한다고 13일 발표했다.

DUV방식의 스테퍼는 그동안 64MD램 3세대 제품과 2백56MD램 개발용으로 일부 사용돼 왔을뿐 본격적인 양산용 스테퍼가 공급되는 것은 이번이처음으로 연내에 삼성전자를 시작으로 국내업체들에게 본격 도입될 것으로알려졌다.

이 DUV스테퍼는 기존 i라인 방식의 제품과는 다른 엑시머 레이저광원과이중원심(Double Telecentric)의 원자외선 광학기술을 이용한 조명계를 사용, 조도를 높임으로써 노광시간을 줄여 양산성이 뛰어나고 0.25um의 해상력으로 2백56MD램 및 펜티엄프로 이상 마이크로프로세서 등 차세대 제품의게이트나 컨택레이어 등 까다로운 공정처리에 필수적인 제품이라고 이 회사는설명했다.

<김경묵기자>