[95 세미콘 코리아] 결산

사상 최대 규모로 열린 95반도체장비.재료전시회(세미콘 코리아 95)가 20일 폐막됐다. 지난 18일부터 사흘간 열린 이번 반도체장비및 재료전시회에는 외국의 반도체소자및 장비업계 관계자들이 대거 참여, 국내반도체장비시장의 활황을 엿볼 수 있게 했다. 관람인원도 지난해보다 15%정도 늘어난 1만여명에 달한것으로 보인다.

전시회주최측인 반도체장비및 재료협회(SEMI)는 "한국내의 반도체장비및 재료시장은 놀랄만한 성장세를 보이고 있으며 내년중 8인치웨이퍼생산능력은지금의 두배로, 96년에는 3배까지 확대될 것"이라고 예측하고 있다.

SEMI측은 또 지난해 한국내 반도체장비및 재료시장은 총35억달러에 달해 30 %의 성장을 이룩했으며 전세계반도체장비시장의 15%, 재료시장의 9%를 각각 차지하고 있다고 설명했다.

올해로 8번째 맞는 이번 반도체장비및 재료전시회도 이같은 국내반도체시장 의 활황을 대변하듯 규모면에서 사상최대였으며 전시내용면에서도 세계최첨 단장비들이 대거 선보여 주목됐다.

특히 이번 전시회를 계기로 외국의 반도체장비전문업체들이 국내 직접 진출 을 확대하는등 한국에서의 사업을 대폭 강화하고 있는 점도 괄목할만하다.

지난 93년 전시회에는 3백58개업체가 참여, 3백31개 전시 부스를 사용한 반면 올해는 3백50개 업체가 4백48개부스를 사용, 참여업체의 대형화현상이 두드러졌다. 특히 지금까지 카탈로그전시수준에 그쳐왔던 업체들의 상당수가 올해에는 직접 제품을 전시한 것도 큰 특징중의 하나로 손꼽힌다.

이번 전시회에 참여한 국내업체수가 크게 늘어난 점도 또 하나의 특징.

국내전시업체수는 지난 93년 전시회때 79개에서 올해는 전체3백50개업체중9 7개로 늘어났다.

주요국내업체의 출품동향을 보면 한국아토엔지니어링이 반도체공정의 불순물 을 획기적으로 줄여줄 수 있는 반도체공정 장비인 "HGRS"를 내놓았으며 한국 DNS도 가스 스크러버와 웨스테이션 신제품을 선보였다.

가스 캐비닛등 반도체 장비를 국산화해온 케이씨텍도 드라이 스크러버 신제 품을 중점 출품했으며 한국베리안은 "MS2100" 스퍼터링시스템 신제품을 처음선보였다. 세계적인 반도체장비 전문업체들도 이번 전시회를 통해 세계 최고의 장비기 술들을 처음 선보여 볼 거리를 제공했다.이는 국내 반도체시장의 초고속성장 을 반증한 것으로 볼 수 있다.

세계 최고의 시장점유율을 자랑하고 있는 어플라이드 머티리얼즈사는 최근개발한 "엔듀라 VHP" PVD(물리적 증기 증착)시스템을 내놓았으며 세계적인 테스트 장비업체인 슐럼버제 테크놀로지사는 로직테스트장비인 ITS9000DX 등2개모델과 자동화 장비 1개모델등 총3개제품을 출품했다.

또한 진공기기전문제조업체인 성원에드워드사는 CMS를 구축하는데 가장 적합 한 "iQ-드라이펌핑시스템"을, 한국램리서치는 멀티체임버장비인 얼라이언스 플랫폼용 TCP9400및 옥사이드 9500 체임버류와 "에픽(Epic)" ECR CVD장비 를 내놓았다. 로직및 메모리반도체테스트장비전문업체인 메가테스트는 고성 능.저가 로직테스트장비인 "모델 1149"시리즈를 선보였다.

이같은 장비들은 세계 최고기술을 자랑하는 장비들로 향후 국내보급이 확대 될 전망이다.

이번 전시회는 특히 국내시장에 신규진출하려는 외국반도체장비업체들의 시험장으로도 제몫을 해냈다.

스테퍼전문생산업체인 ASM리소그래피사는 최근 삼성전자에 공급한 0.35um해 상도의 최신스테퍼인 "PAS 5500/100C"를 내놓고 국내시장진출노력을 강화했으며 감광액제거설비생산업체인 가소닉스 인터내셔널사는 현지법인인 가소닉 스 인터내쇼날 코리아를 설립하고 "하이 실렉티비티 에처"와 "수직형 고압서멀프로세서 를 처음으로 국내에 선보였다.

박막필름측정장비업체인 텐코사도 박막필름측정작업속도를 크게 제고하고 사용하기 간편하게 만든 "프로메트릭스 UV-1250 SE"신제품을 최초로 소개했고C VD장비전문업체인 지너스사도 최근 삼성전자에 2천2백만달러어치을 공급한첨단CVD장비와 16, 64MD램용 이온 임플랜터시스템을 선보였다.

<이경동기자>