<화요특집> "세미콘 코리아 95" 업체별 주요 출품작

95년도 반도체장비및 재료전시회에는 반도체 공정별로 기존 시스템을 대폭 보강한 세계적인 공정장비와 함께 국내 반도체업계가 순수 국내기술로 개발 에 성공한 제품들이 대거 선보인다. 어플라이드 머티리얼즈가 전시하는 엔듀라 VHP" PVD시스템은 기존 제품의 성능을 30%이상 개선한 장비로 주목받고 있으며, 한국베리안이 순수 자체기술로 개발해 이번 전시회에 첫 출품하는 "MS2100" 스퍼터링 시스템은 이번 전시회를 통해 국산 반도체장비 기술력 을 점쳐볼 수 있는 제품으로 기대되고 있다. 국내 반도체시장 확대와 연계, 세계적인 반도체 장비업체들이 "최신" 제품을 전시, 기술력을 과시할 이번 세미콘 코리아 95 반도체장비.재료전은 세계 반도체 시장의 기술발전 추세를 대변하는 장이 되고있다.

<편집자주> 1.어플라이드 머티리얼즈 반도체 장비 부문에서 세계 최대의 시장점유율을 자랑하고 있는 어플라이드머티리얼즈 AMK 는 최근 개발한 "엔듀라 VHP" 물리적 증착 PVD 생산시스템 사진 을 중점 선보인다.

이 제품은 기존의 엔듀라HP 제품에 비해 전체 시스템 작업능력을 30%이상 향상시킨 제품으로 PVD생산 시스템에 일대 혁신을 가져올 것으로 기대되고 있다. AMK의 엔듀라 VHP(Very High Productivity) PVD시스템은 멀티챔버 엔듀라 플랫폼을 사용, 소프트웨어 업그레이드를 통한 고속처리가 가능하며 PVD 프로세서 챔버에 인접한 높은 진공의 이송 챔버내에 "듀얼 블레이드 로봇"을 설치, 프로세스 챔버간 이송시간을 절반으로 단축시켰다.

이 새로운 로봇은 기존의 로봇 설계를 그대로 유지하는 대신 조정작업의 용이성과 실용성을 높였으며 이동및 배치능력의 정밀도를 크게 향상시켰다. 아울러 정비능력과 미세오염입자및 시스템 신뢰도도 높은 수준을 유지하고 있다. 동사 한국지사(대표 이영일)는 이번 새로운 엔듀라 VHP PVD시스템이 "장비의 경제성 확보와 작업처리량 확대를 최우선 과제로 추진한 노력의 결과"라고 밝히고 이 장비를 이용, 여러개의 분리된 필름들을 가진 복잡한 혼합구조 내에서 매우 높은 수준의 작업처리 능력을 발휘할 수 있었다고 설명한다.

어플라이드 머티리얼즈는 특히 18일 인터콘티넨탈 호텔에서 국내외 전문가들 을 초빙, 에치.CVD.PVD공정에 관한 기술세미나를 개최하는 한편 19일에도 인 터콘티넨탈 호텔에서 국내 고객들과의 협력강화를 위한 "AMK 커스토머 파티" 를 개최할 방침이다.

2.케이씨텍 가스 캐비닛등 반도체 장비를 국산화해온 케이씨텍(대표 고석태)은 이번 전시기간중 건식 가스 정화기(드라이 스크러버) 신제품을 중점 출품한다.

반도체 제조공정중 발생하는 맹독성 유독가스를 대기중에 배출하기 전에 FAB 내의 인명피해와 환경오염을 방지하기 위한 정화장치인 드라이 스크러버는특히 일본파이오닉스사의 금속산화물 액재인 "PIOCLEAN<사진>"을 사용, 재해방 지율 99.999%이상으로 허용농도 이하까지 가능하게 한 점이 특징이다.

또한 장치및 구조, 배관이 간단하여 관리가 쉽고 가스누설의 위험성이 적으며 대부분의 가스에 적용이 가능하다.

케이씨텍은 이온 임플랜터용으로 "WGC 3A-PC"와 "WGC 7A-PC"등 2개 제품을, 에치용 "WGC 20B-C"등 총 3개 제품을 국산화하는데 성공, 이번 전시회를 통해 선보인다.

드라이 스크러버는 국내 반도체 시장에 처음 도입하는 단계로 기존 반도체라 인과 신규라인에 모두 적용될 것으로 보여 연간 30억원 이상의 수입대체효과 를 거둘 수 있을 것으로 기대되고 있다.

지난 91년 반도체장비 국산화 기치를 내걸고 반도체장비 시장에 본격 참여한 케이씨텍은 가스 캐비닛을 비롯, 드라이 스크러버, 드라이 펌프및 플라스틱 제작물의 국산화에 주력해왔으며 지난해 이 부문에서만 1백20억원의 매출을 기록한 바 있다.

3.한국아토엔지니어링 한국아토엔지니어링(대표 오순봉)은 반도체공정의 불순물을 획기적으로 줄여줄 수 있는 반도체공정 장비인 "HGRS"를 이번 전시기간중에 처음 선보인다.

한국아토엔지니어링은 지난해말 개발업체인 미뉴백(NUVAC)사와 독점공급 계약을 맺고 올해부터 이 장비의 국내공급에 본격적으로 나서고 있다.

이 회사는 최근 시화공단에 조립라인 구축을 완료하고 국내 조립생산을 시작하는등 향후 국산화도 적극 추진할 방침이다.

미뉴백사가 전세계 특허를 갖고있는 이 제품은 에처및 CVD의 챔버속에 있는수분과 불순물들을 분자간 충돌을 이용해 제거하는 장비로 기존의 고진공을 이용하던 장비로 9시간 걸리던 제거작업을 2시간이하로 줄일 수 있는 점이장점이다. 이 제품은 제어용 밸브 5개와 블로어, 펌프 및 전기적 제어장치로 구성되어 있으며 기존 진공을 사용하던 장비의 클리닝 시스템으로 대체가 활발히 추진 될 것으로 기대된다.

한국아토엔지니어링은 이 제품을 반도체장비에 적용할 경우 습도및 불순물 관리의 효율화로 수율을 높일 수 있으며 작업시간 절감으로 생산성 향상과 원가절감을 실현할 수 있는데다 차세대 반도체 생산 환경에 대응할 수 있는제어기술을 확보할 수 있다고 설명했다.

4.슐럼버제 세계적인 테스트 장비업체인 슐럼버제 테크놀로지(대표 김창호)는 테스트장비 2개 모델과 자동화 장비 1개 모델등 총 3개 제품을 집중 출품한다.

슐럼버제가 선보이는 로직 테스트 장비인 ITS9000DX<사진>는 50MHz에서 1백1 7MHz까지의 주파수대.최대 5백12핀 제품까지 테스트할 수 있다. 테스트 가능한 품목으로는 RISC소자를 비롯해 SISC, MCU, MPU 및 칩세트등 다양하다.

이 제품은 특히 지금까지 설계작업과 테스트 작업이 별도로 추진되어 오던 작업방식을 개선, 양 기능간 차이를 크게 줄인 점이 특징이며 응용 유틸리티 프로그램들이 다양하고 사용하기 편한 장점이 있다.

슐럼버제는 또한 불량 소자의 회로분석을 위한 "IDS 5000"도 함께 선보이는데 이 제품은 회로의 초미세화에 따라 점점 복잡해지고 있는 설계 검증및 회로 디버깅 작업들을 쉽게 처리할 수 있는 장비이다.

슐럼버제는 이와함께 번인보드의 로딩및 언로딩을 자동화한 "BLU" 조립부문 의 자동화제품도 전시한다.

이 제품은 PGA, TSOP, PQFP, TQFP 등 조립 부문에서의 자동화효율을 크게 높일 수 있을 것으로 기대된다.

슐럼버제 테크놀로지는 핵심반도체 테스트장비인 로직 테스터, 보드 테스터 및 E-빔 프로버등을 전문 제작해온 반도체 장비업체로 지난 90년에는 차세대VLSI 테스터인 ITS9000시리즈를 개발, 세계 유수의 반도체 메이커에 공급해 오고 있다.

5.성원에드워드 진공기기 전문 제조업체인 성원에드워드(대표 김중조)는 이번 전시회를 통해 건식 진공펌프로 현재 신규 FAB에서 중요성이 점차 높아지고 있는 CMS(Ce-nt ral Monitoring Sy-stem)를 구축하는데 가장 적합한 "iQ-드라이 펌핑 시스템 을 전시한다.

이 제품은 문제발생에 대한 자기진단기능을 갖추고 있는 새로운 컨트롤러를장착한 점이 특징이다.

성원에드워드는 또한 유해 폐기물을 발생하지 않아 환경보호 측면에서 유리 하며 기존의 싱글 GRC(Gas Reactor Column)의 장점을 그대로 유지하면서 공 정시 다운 타임을 최소화할 수 있는 "듀얼 GRC"<사진>도 함께 선보인다.

성원에드워드는 이와함께 세이코 세이키사의 자기부상식 터보 분자 펌프를 선보일 예정인데 특히 각 펌프들의 내부구조를 쉽게 이해할 수 있도록한 펌프 모형도 전시할 방침이다.

성원에드워드는 영국의 B.O.C그룹 산하의 세계적인 진공기기 전문업체인 에드워즈 하이 백큠 인터내셔널사의 국내 투자법인으로 반도체 제조용 진공펌프의 국내 생산및 서비스에 나서고 있다.

성원에드워드는 천안 제2공단내 1천5백평 부지에 연건평 7백50평의 신규공장 을 완공,지난해 5월에 준공식을 가진 바 있다.

한편 영국 에드워즈사는 현재 전세계 반도체업계의 진공펌프및 관련장치부문 에서 최고의 시장점유율을 보이고 있으며 국내에서도 반도체용 진공펌프 시장의 60%이상을 점유하고 있다.

6.한국램리서치 한국램리서치(대표 장명식)는 멀티챔버 장비인 "얼라이언스" 플랫폼용 TCP94 00및 옥사이드9500 챔버류와 "에픽(Epic)" ECR CVD장비등을 선보인다.

TCP 9400<사진>은 트랜스포머 커플드 플라즈마 방식의 고밀도 플라즈마를 사용하여 저압에서 고이방성 에치를 실현하고 마이크로 로딩 효과를 개선한 장비로 차세대 폴리에치 기술을 선도할 것으로 기대되는 장비.

램리서치는 이 제품들을 이미 현장에 투입, 성능의 우수성을 인정받은 바 있다고 밝혔다.

이와함께 선보이는 옥사이드9500 챔버는 트리오드 방식의 고밀도 플라즈마 소스를 채택, 옥사이드 에치시 손실을 최소화시킨 점이 장점이다.

이들 챔버들을 채택한 "얼라이언스" 플랫폼은 웨이퍼 가공과 FAB자동화를 겨냥 이 회사가 5년간 집중 개발해 개가를 올린 멀티챔버 플랫폼으로 기존에사용하던 레인보및 TCP챔버를 최대 4개까지 장착하여 멀티 레이어 에치를 가 능케한 첨단 반도체장비이다.

이 제품은 차세대 2백56MD램및 1GD램의 경제적 생산단위인 12인치 웨이퍼의 반송과 이에따른 공장자동화 기능을 내장하고 있어 멀티챔버및 멀티가공 환경 구축에 적합하다고 회사측은 밝혔다.

한편 램리서치가 함께 전시하는 에픽 ECR CVD는 고밀도 플라즈마 소스를 사용하여 저온에서도 성막이 가능하고 메탈 레이어층사이에서 우수한 평탄화 특성을 갖추고 있는 점이 장점이다.

한국램리서치는 세계적인 반도체장비업체인 미국 램리서치가 지난 92년 설립 한 한국 현지법인으로 지난해에는 천안 반도체공단에 장비생산공장 건설에 착수, 올해 7월부터 본격적인 국내 생산에 나설 계획이다. 이 회사는 특히기흥.이천.청주.구미등지에 지역 사무소를 개설, 대고객 서비스 강화에 나서고 있으며 천안공장이 본격 가동되면 장비의 생산및 수리에서부터 장비교육 에 이르기까지 서비스 영역을 크게 확대해 나갈 계획이다.

7.한국베리안 한국베리안(대표 서성기)은 "MS2100" 스퍼터링 시스템 신제품을 전시한다.

이제품은 클러스터 툴을 이용한 독립 모듈 구조를 채택, 기존의 공정 환경 을 유지하면서도 다양한 멀티스텝 박막증착이 가능한 차세대 공정개발 장비 이다. 특히 독립 챔버에서 진행되는 공정에서는 가스 또는 물리적인 상호 오염 크로스 컨테미네이션) 가능성을 배제시켜 공정 특성을 높인 점이 장점이다.

이 제품은 일반금속과 절연물질, 자성물질의 증착은 물론 BST, PZT 및 리액 티브 스퍼터링이 가능하며 스퍼터 에치, 케미컬 베이퍼 디포지션및 급속 열 공정을 동일 시스템내의 독립 모듈을 이용, 순차적으로 수행할 수 있는 복합 장비이다. 한국베리안의 MS2100 스퍼터링 시스템은 이와함께 오픈 시스템 구조를 채택, 각 모듈에 손쉽게 접근할 수 있어 정비작업이 용이하며 모든 시스템의 전원 을 끄지 않고도 각각의 모듈을 개별적으로 정비할 수 있어 장비의 가동성을 극대화시킨 점이 특징이다.

한국베리안측은 이 제품의 설계, 제조는 물론 컴퓨터 제어 소프트웨어를 순수 자체 기술로 개발하는데 성공했다고 밝혔다.

이 회사는 그동안 섭씨 8백도 이상 서브스트레이트를 가열할 수 있는 고온 히터와 스퍼터링 압력에서의 기체유동등 다양한 기술 부문에서 독자적인 노하우를 축적, 이번에 국내업체 처음으로 스퍼터링 시스템의 국산화가 가능했다고 설명했다.

8. 메가테스트 로직및 메모리 반도체 테스트 장비 전문업체인 메가테스트 한국지사(대표 이춘동 는 경제성을 갖춘 고성능의 로직 테스트 장비인 "모델 1149" 시리즈를 중점 선보인다.

이 제품은 50MHz 대역의 테스트장비로 최대 7백86개 핀의 I/O 헤드 구성이 가능해 중저속을 요구하는 주문형 반도체(ASIC)및 마이크로 프로세서등 아날로그를 포함하는 디지틀 로직 반도체 제품의 테스트에 적합하도록 설계돼 있다. 메가테스트는 현재 공급되고 있는 동급의 경쟁사 제품보다 절반 가격 이하에이 제품을 공급, 테스트 부문의 장비 보급화에 앞장설 계획이라고 밝혔다.

메가테스트는 국내 고객을 위해 지난해 첨단로직 장비인 "폴라리스" 1백 MHz 와 3백84핀 헤드 장비들을 국내 최초로 공급한 바 있다.

이 회사는 이번 고성능.저가 모델의 국내 보급으로 국내 반도체업계의 테스트 비용이 크게 절감될 것으로 기대하고 있다.

이 제품은 스캔 테스팅에서부터 믹스트 시그널 테스트에 이르기까지 다양한분야의 테스트 기능을 수행할 수 있으며 고성능 모듈러 아키텍처 기술을 채택 최적의 솔루션을 제공함으로써 가격대 성능비를 크게 높였다.

이와함께 통합 소프트웨어시스템인 "퍼셉터(Pe-rcepta)"를 제공, 테스팅 시간을 크게 단축시켰으며 프로그래밍 작업을 손쉽게 한데다 병렬 테스트 작업 을 자동으로 수행할 수 있어 생산성을 크게 높일 수 있는 점이 장점이다.