초순수

초순수란 반도체디바이스제조공정에서 디바이스의 오염제거를 위해 사용되는물로 불순물미입자나 용해물을 극한까지 감소 또는 제거한 물을 뜻한다.

초기의반도체디바이스제조에서는 단순히 이온교환처리로 물의 비저항 (단위 단면적. 단위길이당의 전기저항)을 높여 마이크로필터로 여과한 물을 초순수 라고 부른 때도 있었으나 초순수의 개념은 반도체기술의 진보와 함께 변화해 주로 물의 비저항치로 수질을 나타내는데 지금은 물에 녹아 있는 용해염유를미롯해 실리카(silica)를 제거한 것을 순수라고 부르며 초순수는 그것들 외에 수중의 모든불순물 즉 미입자.박테리아.TOC(total organic carbon:미양유 기물).용존가스 및 미양금속 등의 극한감소 또는 완전제거한 물을 말한다.

물은최고의 용제 라고 불리는 것처럼 물에는 온갖 불순물이 포함돼 있으며불순물을 수중에서의 존재형태별로 살펴보면 표와 같다. 이들 수중의 불순물 의 제거에는 각종 단위조작을 효율적으로 조합해 안정된 성능의 유지를 꾀하지 않으면 안된다.