홀로그램 기반 검사장비 기업 큐빅셀이 인공지능(AI) 반도체용 유리기판과 공동패키징광학(CPO) 검사 시장 공략에 나선다. 독자 개발한 검사 기술을 앞세워 첨단 반도체 분야에서 확대되는 3차원(3D) 정밀 검사 수요에 대응한다.
김태근 큐빅셀 대표는 25일 전자신문이 개최한 '테크데이, 빛으로 通한다'에서 차세대 유리기판·CPO에 적용할 '플라잉오버 스캐닝 홀로그래피(FSH)' 기술을 소개했다.
FSH는 빛의 간섭 패턴을 만들어 물체를 정밀하게 스캐닝하는 기술이다. 얻어진 홀로그램 정보를 분석해 3D 형상과 깊이를 측정할 수 있다.
김 대표는 “FSH를 활용하면 레이저 가공 흔적의 폭과 길이는 물론 주변 미세 균열이 얼마나 전파됐는지까지 측정할 수 있다”며 “초점을 변경하며 여러 장을 촬영하는 기존 광학 방식과 달리 한 번의 스캔으로 검사 정보를 얻을 수 있다”고 설명했다.
대면적 유리기판 검사에 적용도 가능하다. 큐빅셀은 600×600㎜ 영역을 검사할 수 있는 장비를 개발했다. 10배율 기준 FSH 모듈 4개를 적용하면 전체 영역 검사 시간을 약 30분까지 단축할 수 있다는 설명이다.
큐빅셀은 반도체 첨단 패키징 분야에서 FSH 기술을 이미 상용화했다. 2024년 삼성전자에 고대역폭메모리(HBM) 등 첨단 패키징 공정에서 활용되는 12인치 웨이퍼용 자동광학검사 장비를 공급했다. 이를 발판으로 유리·폴리머 광도파로의 이물과 두께 편차를 검사하는 기술을 개발하는 등 CPO 분야로 적용 범위를 넓히고 있다.
앞으로는 개별 광학 모듈 공급을 넘어 자체 광학계와 자동화 장비를 결합한 '토탈 검사 솔루션' 공급사로 사업 영역을 확대할 계획이다. 유리기판부터 CPO까지 차세대 AI 반도체 패키징에 필요한 검사 장비를 일괄 제공하는 것이 목표다.
김 대표는 “FSH 상용화로 확보한 기술 신뢰도를 바탕으로 차세대 AI 반도체의 핵심이 될 유리기판과 CPO 종합 검사 장비 시장에서 경쟁력을 높여가겠다”고 말했다.
박유민 기자 newmin@etnews.com
