국내 반도체 기업이 생산 장비를 공공 연구 용도로 이전해 반도체 연구 경쟁력 강화에 힘을 보탠다. 정부도 750억원을 투입해 중고 반도체 장비의 연구 현장 도입을 지원한다.
과학기술정보통신부는 6일 충북 음성군 DB하이텍 상우캠퍼스에서 'DB하이텍-모아팹 중고 장비 이전 협약식'을 개최했다. 이날 DB하이텍은 8인치 반도체 공정용 고온 열처리 증착 장비와 건식 식각·표면 코팅 장비를 각각 나노종합기술원, 나노융합기술원에 이전했다. 상업 생산에 투입됐던 장비는 앞으로 공공 연구 용도로 활용된다.
이번 이전은 과기정통부가 지난해 3월 삼성전자, SK하이닉스, DB하이텍과 체결한 업무협약(MOU)의 후속 조치다. 국내 반도체 산업을 대표하는 세 기업은 유휴 중고 장비를 공공나노팹으로 무상 이전해, 공공과 산업 현장 간 기술·장비 격차를 해소하는 데 뜻을 모았다. 이번에 장비를 이전한 DB하이텍은 파운드리 기업으로 전력반도체, 이미지센서, 디스플레이구동칩(DDI) 등 성숙 공정에 특화됐다.
초소형 정밀 부품과 센서의 구조막을 얇고 균일하게 입히는 증착 장비의 경우 기존 나노종합기술원에서는 20년이 넘은 장비를 사용했는데, 이번 DB하이텍 장비를 도입하면 생산량이 두 배 증가할 것으로 기대된다. 식각·표면 코팅 장비 역시 초미세·초박막 부품을 손상 없이 다뤄 품질 완성도를 높일 수 있다.
정부는 유휴 장비의 공공나노팹 적용을 확대하며 인공지능(AI), 첨단바이오, 양자 등 첨단 산업 기반이 되는 나노·반도체 기술 고도화를 뒷받침한다. 과기정통부는 올해부터 2033년까지 총 750억원 규모의 '모아팹 중고 장비 활용 지원사업'을 실시한다. 전국 공공나노팹을 연결한 모아팹 플랫폼을 기반으로 기업 유휴 장비의 이전·구축비를 지원한다.
과기정통부는 산·학·연 연구개발(R&D), 기술 실증, 사업화 연계 등 지원으로 공공 나노 인프라 기능을 확대한다. 이날 협약식에는 구혁채 과기정통부 제1차관과 조기석 DB하이텍 대표, 박흥수 나노종합기술원장, 이병훈 나노융합기술원장 등이 참석해 민·관 협력 기반 반도체 생태계 강화, 공공나노팹 연구 성과의 산업 적용, 소부장 테스트베드 지원방안 등을 논의했다.
구 차관은 “DB하이텍의 선도적인 중고 장비 이전은 민·관이 힘을 모아 반도체 생태계의 선순환 구조를 만들어낸 모범적인 상생 협력 모델”이라면서 “앞으로 중고 장비 활용 지원사업을 차질 없이 추진해 공공나노팹의 연구지원 인프라를 대폭 고도화하고, 연구계와 산업계가 체감할 수 있는 기술 혁신과 전문인력양성을 적극 뒷받침하겠다”고 밝혔다.
송윤섭 기자 sys@etnews.com
