반도체 공정에 쓰이는 가스 품질을 국내에서 객관적으로 평가할 수 있는 기반이 마련됐다.
한국표준과학연구원(원장 이호성)은 반도체 공정에 쓰이는 고순도 가스 15종 순도분석기술과 시험절차를 확립하고, 측정 정확성을 확인하는 인증표준물질 6종을 개발했다고 6일 밝혔다.
그동안 업계에서는 기존 공급업체가 발급한 자체 성적서, 사용 실적이 사실상 품질보증 역할을 했다. 그러나 최근 공급망 재편으로 국산 제품이나 신규 공급처의 제품 도입을 검토해야 하는 사례가 늘면서, 이들 제품 품질을 객관적으로 입증할 독립적인 시험 결과가 필요해졌다.
이에 표준연은 2020년 불화수소 품질평가 서비스를 시작한 이래, 단계적으로 대상을 늘려 식각·세정·증착용 고순도 가스 15종에 대한 순도분석 기반을 구축했으며, 가스별 표준 시험절차를 마련해 15종 전 품목에 대한 시험분석 서비스 체계를 완비했다.
아울러 정확한 기준값이 부여된 주요 불순물 분석용 인증표준물질 6종을 개발해 현장 분석 장비의 측정 정확성을 검증하고, 측정 결과의 신뢰성과 비교 가능성을 한층 높였다.
극미량 불순물 분석에는 국제비교를 통해 세계 최고 수준의 측정 능력을 입증해 온 표준연의 가스 분석 기술력과 수십 년간 축적된 노하우가 집약됐다.
확립된 분석 시스템을 바탕으로 현재까지 총 34건의 시험서비스를 제공했다. 특히 국산화 및 공급 다변화가 활발히 진행 중인 불화수소 품목을 중심으로 시험 수요가 이어지고 있다. 시험 결과는 가스 제조기업의 자체 분석법 검증과 제조·정제공정 개선, 수입·국산제품 간 품질 비교 등에 다양하게 활용되고 있으며, 반도체 제조기업에는 신규 가스를 실제 공정시험 대상으로 검토할 객관적 근거가 되고 있다.
오상협 표준연 가스측정그룹 오상협 책임연구원은 “반도체 소재 국산화가 실제 산업 현장으로 이어지려면 제품의 품질을 신뢰할 수 있는 객관적 데이터로 입증하는 과정이 필수적”이라며 “세계 최고 수준인 표준연의 가스 측정표준과 분석 역량을 바탕으로 국내 기업의 품질관리와 공급망 대응을 적극 뒷받침하겠다”고 밝혔다.
김영준 기자 kyj85@etnews.com
