반도체 생산공정의 핵심 기반인 '초순수(Ultra Pure Water)' 기술 자립화에 정부가 속도를 낸다. 초순수 생산 전 공정 핵심 기자재 국산화율을 2030년까지 90% 이상으로 끌어올리고, 하수재이용수를 활용한 대체 수자원 기술과 초극미량 분석기술까지 확보해 '초순수 공급망 자립'을 완성하겠다는 구상이다.
기후에너지환경부는 한국환경산업기술원, 관련 기업들과 함께 27일 서울 프레지던트호텔에서 '차세대 초순수 생산·공급 및 자립형 생산공정 기술개발사업(2단계)' 착수회의를 개최한다고 밝혔다.
초순수는 반도체·디스플레이·이차전지 생산 과정에서 웨이퍼와 설비를 세정하는 데 사용하는 초고순도 공업용수다. 극미량 유기물과 입자, 이온까지 제거해야 해 고난도 수처리 기술이 필요하다. 최근 글로벌 반도체 공급망 경쟁이 격화되면서 초순수 기술 역시 첨단산업 경쟁력을 좌우하는 전략기술로 부상하고 있다.
기후부는 세계 초순수 시장 규모가 지난해 46조5000억원에서 2030년 58조9000억원까지 성장할 것으로 전망했다. 이에 따라 초순수 기술 국산화를 단순 물산업을 넘어 '첨단산업 공급망 전략' 차원에서 추진한다는 방침이다.
정부는 지난 2021년부터 추진한 1단계 연구개발 사업을 통해 자외선 산화장치(UV Oxidation), 탈기막(MDG), 이온교환수지 등 핵심 기자재 국산화에 성공했다. 특히 국내 기술로 생산한 초순수를 SK실트론 구미사업장의 반도체 웨이퍼 생산공정에 실제 공급해 현장 적용성과 신뢰성 검증도 마쳤다.
이번 2단계 사업은 여기서 한발 더 나아가 초순수 공급 배관 등 소재 분야까지 국산화 범위를 확대한다. 생산 전 과정의 국산화율을 90% 이상으로 높이고, 저에너지형 초순수 실증설비 설계기술 개발도 병행한다.
특히 기후위기에 따른 산업용수 부족 가능성에 대응하기 위해 하수재이용수를 초순수 원수로 활용하는 기술 개발도 추진된다. 극미량 오염물질 제거 기술을 확보해 안정적인 산업용수 공급체계를 구축한다는 계획이다.
정부는 내년부터 초극미량(ppt·1조분의 1) 수준 분석기술 개발에도 착수한다. 초순수 생산뿐 아니라 품질 검증까지 가능한 분석 역량을 확보해 생산·공급·운영·분석을 아우르는 초순수 산업 생태계를 구축하겠다는 전략이다.
이번 사업에는 총 443억원이 투입된다. 테크로스워터앤에너지, 지앤지인텍, 한국수자원공사, 한성크린텍, 시노펙스 등 민간·공공기관이 참여한다.
김지영 기후부 물이용정책관은 “이번 2단계 초순수 연구개발사업은 단순한 기자재 국산화를 넘어 초순수 생산 전과정의 기술 자립과 지속가능한 공급체계를 구축하는 전환점이 될 것”이라며, “반도체를 비롯한 국가 첨단전략산업의 경쟁력을 뒷받침하고, 국내 물기업의 해외 초순수 시장 진출 기반을 마련하는 계기가 될 것”이라고 밝혔다.
이준희 기자 jhlee@etnews.com
