신성이엔지가 오는 22일부터 24일까지 서울 코엑스에서 열리는 '반도체대전(SEDEX 2025)'에 참가해 첨단 클린룸 솔루션을 선보인다고 20일 밝혔다.
신성이엔지는 1977년부터 클린룸 공조 분야를 개척해 왔으며 국내 최초로 산업용 공기청정기(FFU)를국산화 한 이후 반도체·디스플레이 클린룸 핵심 파트너로 성장했다. 현재는 말레이시아 텍사스인스트루먼트와 미국 반도체 팹 프로젝트 등 사업을 확대하며 글로벌 시장에서 입지를 강화하고 있다.
이번 전시에서는 기존 청정 장비에 제습 기능을 더한 차세대 장비가 공개된다. 고도화된 반도체 공정에 특화된 이 장비는 습도 감지 센서와 자동제어시스템으로 팹 내 공기 중 수분을 제거하고 일정한 습도를 유지한다. 이를 통해 웨이퍼 부식과 회로 이상을 예방해 수율 향상에 기여한다.
HP도 선보인다. 이 장비는 클린룸 천장 시공시 고소 작업을 지상 모듈화 방식으로 전환해 안전성을 크게 높였다. 작업대 범위를 확장하고 상부 설비를 동시에 시공할 수 있어 공정을 단축시킨다.
이외에도 △레이저와 고감도 카메라로 미세입자를 실시간 시각화하는 '미립자 가시화 시스템' △외부 공기를 정화해 안정적인 클린룸 환경을 조성하는 'OAC' △유해가스 제거와 청정 기능을 강화하면서 에너지를 절감하는 'ICF' 등 다양한 장비가 전시된다.
신성이엔지 관계자는 “이번 전시는 클린룸 초격차 기술을 직접 확인 할 수 있는 기회”라며 “첨단 반도체 분야의 클린룸 사업을 넘어 데이터센터를 포함한 냉난방공조인프라(HVAC) 분야로 사업 영역을 확장하며 글로벌 시장에서 선도적인 솔루션 기업으로 성장하고 있다”고 밝혔다.
조성우 기자 good_sw@etnews.com
