큐알티가 '2차이온질량분석(SIMS)' 기술을 통해 표면 물성 분석 사업 영역을 확장한다고 1일 밝혔다.
2차이온질량분석기는 1차이온빔 장비에서 만들어진 이온을 고체 분석 시편 표면에 충돌시킨 후 표면에서 방출되는 2차이온 구성 원소와 농도를 분석하는 장비다.
큐알티는 비행시간형 2차이온 질량분석기(TOF-SIMS), 나노영역 2차이온질량분석기(Nano-SIMS), 동적 2차이온질량분석기(D-SIMS) 등 세 가지 장비를 통해 표면 물성 분석을 제공한다. 나노미터 단위 크기 물질을 분석할 경우 원소 분포를 이미지로 구현할 수 있다.
큐알티는 표면 물성 분석 서비스 기술 경쟁력을 향상하기 위해 최근 2차이온분석 관련 특허를 등록했다. 시편 제조를 세밀하고 신속하게 수행할 수 있다. 큐알티는 초미세 2차이온질량분석기, 시간분해 2차이온질량분석기, X선광전자분광기 등 장비 인프라를 보유한 국가기관과 표면 물성 분석 서비스를 강화한다. 이를 통해 전반적인 반도체 신뢰성 평가 기술력을 고도화한다.
허수봉 큐알티 수석연구원은 “물질이 작아질수록 광학·전기·물리적 특성이 달라지기 때문에 반도체산업 첨단화에 따라 표면 물성 분석 중요성이 커지고 있다”며 “반도체 신뢰성 분석 기술을 바탕으로 표면 물성 분석 서비스를 제공해 국내 반도체산업 경쟁력 강화에 나설 것”이라고 말했다.
송윤섭기자 sys@etnews.com
