반도체 중고장비 플랫폼기업 서플러스글로벌(대표 김정웅)은 신사옥 R&D 파운드리 클린룸에서 300㎜ 테스트용 웨이퍼를 첫 출하, R&D 파운드리 사업을 본격적으로 진행한다고 20일 밝혔다.
최준영 상무는 “지난 2년간 준비 기간을 거쳐 이번에 생산한 300㎜ PE TEOS 웨이퍼는 CMP 소재, 장비 성능평가를 위한 테스트 웨이퍼로서 반도체 양산공정에 활용된 장비로 생산하고 계측해 생산성과 품질을 확보하는 데 강점이 있다”고 말했다.
서플러스글로벌은 앞으로 생산라인에서 열 산화물 테스트 웨이퍼 등을 생산해 공급범위를 넓혀 나갈 계획이다. 해외 기업들과 협력해 국내 반도체 연구소를 대상으로 다양한 고품질의 테스트 웨이퍼를 적기에 공급할 예정이다.
회사는 이와 더불어 패턴이 없는 박막 상태 웨이퍼를 활용한 전기적 특성 분석 서비스를 제공, 반도체 소부장 기업은 물론이고 소자 기업들에 저비용으로 빠르고 정확한 선행 성능평가 결과를 제공하기로 했다.
김정웅 대표는 “테스트 웨이퍼 제공부터 패턴이 필요 없는 전기적 특성 분석 서비스까지 R&D 원스톱 솔루션 제공이 가능한 R&D 파운드리 사업에 첫 발을 내디뎠다”면서 “반도체 중고장비를 활용해 다양한 테스트 웨이퍼를 생산하고 전기적 분석을 통한 장비와 소재 성능을 평가해 세계 반도체 R&D 생태계 조성에 기여하겠다”고 전했다.
서플러스글로벌은 반도체 관련 인력, 장비, 시설을 공유할 수 있는 반도체 장비 클러스터를 2021년 7월에 설립하고, 클러스터 내부에서 R&D 파운드리 서비스를 제공하고자 192평(634㎡) 규모의 클린룸을 설치하고 이번 달부터 가동을 시작했다.
안수민기자 smahn@etnews.com
