분야별 기술·표준화 전문가 약 30명 참여
EUV 펠리클 투과도 측정 등 장비 표준화
글로벌밸류체인 안정화-기술 개발 촉진
한국표준협회와 반도체 학계가 국제전기기술위원회(IEC)에 반도체 장비 핵심 요소를 평가하기 위한 국제표준화 팀을 제안한다. 오는 10월 미국 샌프란시스코에서 열리는 IEC 기술위원회(TC)에서 국제표준화팀 구성을 공식 안건으로 상정한다. 극자외선(EUV) 펠리클 투과도 측정, 패턴 웨이퍼 결함 측정방법 등 반도체 장비 표준화를 추진한다. 반도체 강국인 우리나라가 반도체 장비 분야 표준화도 주도할지 주목된다.
한국표준협회는 7일 서울 소피텔 앰배서더 서울 호텔에서 '반도체장비 국제표준화 공동연구회'를 발족한다고 밝혔다.
공동연구회는 반도체 장비 분야 국제표준 개발 작업을 우리나라 주도로 추진하기 위한 국제표준 협의체다. 그동안 반도체 소자 분야 국제표준화에 치중한 IEC TC47에 우리나라가 처음으로 반도체 장비 핵심 요소를 평가하기 위한 국제표준화 팀을 제안하기 위해 만들었다.
연구회 사무국은 IEC TC47/SCF(MEMS) 국제위원장을 맡고 있는 좌성훈 서울과학기술대 지능형반도체공학과 교수, IEC TC47 인큐베이팅작업반(IWG) 국제의장을 맡고 있는 차철웅 한국전자기술연구원 센터장을 주축으로 운영한다. 연구회에는 박인성 한양대 교수, 배준호 가천대 교수, 강경태 생산기술연구원 본부장 등 약 30명 분야별 기술·표준화 전문가가 표준화 작업·자문위원으로 참여한다.
좌성훈 서울과기대 교수는 “반도체 장비 표준화는 장비 생산기업과 활용 기업을 연결하는 글로벌밸류체인(GVC)을 안정시키고 관련 기업 협업과 기술 개발을 촉진하는 역할을 할 것으로 기대된다”고 말했다.
차철웅 전자기술연구원 센터장은 “반도체 장비 표준화는 영업비밀에 해당하는 핵심기술 보다는 장비 핵심 기술 요소를 광학·전기적 특성을 활용해 검사하고 측정하는 방법을 위주로 표준화 활동 전개가 필요하다”고 밝혔다.
연구회는 오는 10월 미국 샌프란시스코에서 열리는 IEC TC47 총회에서 IWG 내에 '반도체 장비 국제표준화 프로젝트팀(PT)' 신설을 공식 안건으로 상정해 승인받는 것을 목표로 움직인다. IWG는 IEC TC 산하 작업반(WG)의 한 형태다. IEC는 반도체 분야 새 아이디어를 키우기 위해 IWG를 만들었다.
공동연구회는 IEC 반도체장비 국제표준화 프로젝트팀 활동 계획에 극자외선(EUV) 펠리클 투과도 측정, 패턴 웨이퍼의 결함 측정방법, 레이저 절단 결함 검사법 등 반도체 장비 표준화를 추진하는 내용을 담을 계획이다. 기존 사실상표준화기구인 국제반도체장비재료협회(SEMI) 등에서 추진되던 반도체 분야 표준화를 공적표준화기구인 IEC에서도 활발히 추진한다는 구상이다.
염희남 표준협회 표준본부장은 “이번 반도체 장비 국제표준화를 성공적으로 추진해 기술패권 시대에 우리 기업이 반도체 분야 경쟁력 있는 기술표준을 확보하는 마중물 역할을 하도록 지원하겠다”고 강조했다.
변상근기자 sgbyun@etnews.com
