불산·황산 누출 감지에 재사용도 가능
이달 말 양산 돌입…글로벌 진출 계획
플로우테크가 그래핀 전극을 활용해 내구성과 내식성을 크게 개선한 유해물질 누액 센서를 개발했다. 반도체 공정에서 발생할 수 있는 불산·황산 누출 감지뿐 아니라 재사용도 가능한 것이 특징이다.
플로우테크는 한국전자기술연구원(KETI)과 가천대 산학협력단 공동으로 유해물질 누액 센서용 전극 소재에 그래핀을 적용하는 기술을 개발하고 제품 상용화에 성공했다고 3일 밝혔다.
그래핀은 탄소 원자가 벌집 형태로 구조화한 첨단 나노 소재다. 강철보다 수십 배 강하고 실리콘이나 구리보다 전자 이동 속도가 100배 이상 빨라 '꿈의 신소재'라고 불린다.
유해물질 누액 센서는 석유 화학이나 반도체 공정에서 유해물질 누설 사고를 사전 감지하고 예방하기 위해 설치하는 장치다. 화학물질 관리법에 따라 유해물질을 생산·저장·운영하는 업체나 장소에는 반드시 설치해야 한다.
기존 센서는 폴리이미드 재질의 필름 위에 니켈 전극을 사용했다. 최근 니켈 전극 위에 금막을 씌워 내구성을 증가시키는 추세지만, 여전히 황산과 불산 등 유해물질에는 필름과 전극이 녹아 제품이 제 기능을 못하는 경우가 많다. 사실상 한번 유해물질을 감지하면 재사용이 불가능했다.
플로우테크는 내구성이 뛰어난 테프론을 필름으로 사용하고, 새로 개발한 그래핀을 전극 소재로 활용해 기존 누액 센서의 내구성과 내식성 문제를 해결했다. 유독성 화학물질에 72시간 넣어도 제품 성능이 유지되어야 하는 반도체 업계 사용·환경 조건을 만족시켰다. 화학물질에 노출돼도 소재 특성이 변하지 않아 재사용도 가능하다. 유지 보수에 따른 비용 발생을 최소화할 수 있다.
플로우테크는 이달 말 유해물질 누액 센서 양산에 돌입할 계획이다. 넓은 면적에서 누설을 감지하는 필름·면적식 타입과 반도체 공정 장비 등 특정 위치에서 누설을 감지하는 포인트 타입 등 제품 포트폴리오도 다변화했다. 글로벌 시장 진출을 위해 관련 특허도 출원했다.
성백명 플로우테크 대표는 “기계적·전기적 특성이 우수한 나노카본 탄소 금속 소재인 그래핀을 누액 센서에 적용한 건 세계 최초 사례”라면서 “이를 계기로 국내 최고 나노 기술 전문 기업으로 도약하겠다”고 밝혔다.
권동준기자 djkwon@etnews.com
