동진쎄미켐이 이르면 이달 푸젠성 푸저우(福州)시 식각액 제조 공장을 착공한다. 올 하반기 완공 예정인 광둥성 후이저우시 공장을 포함해 동진쎄미켐이 중국에 건설하는 9번째 공장이다.
22일 업계에 따르면 내년 초 완공 예정인 동진쎄미켐 푸저우시 공장은 BOE 푸저우 8.5세대 LCD 생산라인에 식각액, 박리액 등 액체화학물(공정재료)을 공급한다. 투자금액은 1600만달러(177억원)다.
동진쎄미켐 관계자는 “그동안 중국에 지었던 공장과 비슷한 수준의 투자금액”이라며 “3분기 안에 공사가 시작될 것”이라고 말했다.
중국에서 공장을 지으려면 지방 법인이 필요하다. 동진쎄미켐 푸저우 공장은 동진쎄미켐 푸저우 법인이 짓는다. 푸저우동진쎄미켐은 올해 5월 설립됐다. 자본금은 640만달러(70억원)다.
푸저우시 환경 당국에 따르면, 동진쎄미켐 푸저우 공장 생산능력은 식각액 연 7만3300톤, 박리액 2만톤, 신너 2000톤이다. 국내에서 생산한 감광액, 유기절연막도 푸저우동진쎄미켐을 통해 BOE 푸저우 8.5세대 LCD 생산라인에 납품된다.
BOE 푸저우 8.5세대 LCD 라인이 생산을 시작하는 내년 2분기 전에 공장을 짓고 디스플레이 공정 재료를 공급한다. 푸젠성 정부에 따르면 BOE 푸저우 8.5세대 공장은 올해 12월까지 장비입고를 마친다. 내년 2분기부터 생산을 시작해 3분기 양산이 목표다. 95만㎡ 부지에 8.5세대 기판유리 기준 월 12만장 생산능력으로 설계됐다. 총투자비는 300억위안(5조원)이다.
동진쎄미켐은 2004년 9월 베이징시에 베이징동진쎄미켐과기공사를 설립하며 중국에 진출했다. 베이징동진쎄미켐은 중국 최초로 LCD패널을 양산한 BOE 베이징 5세대 LCD 생산 라인에 식각액, 박리액, 신너 등을 공급했다. 이후 2009년, 2010년, 2013년, 2014년 각각 청두, 허페이, 어얼도스, 충칭에 법인을 만들어 BOE 디스플레이 생산라인에 액체 화학물을 납품했다.
동진쎄미켐은 광둥성 후이저우시에 짓고 있는 공장을 하반기 완공해 BOE 외에 트룰리, CSOT 등으로 공급처를 확대한다. 지난 7월 서울에서 열린 한·광둥성 발전포럼에서 트룰리와 공급 관련 양해각서(MOU)를 교환했다. 중국에 진출한 삼성전자 시안 반도체 공장, 삼성디스플레이 쑤저우 8.5세대 LCD 생산 라인에도 액체화학물을 공급했다.
액체화학물은 반도체 회로 패턴을 만드는 데 쓰이는 공정재료를 말한다. 디스플레이를 구동하는 박막트랜지스터(TFT)는 유리를 기판 삼아 그 위에 여러 물질을 증착해 만든다. 증착한 물질을 감광액, 식각액, 박리액, 신너 등으로 선택적으로 없애(식각) 패턴을 형성한다.
감광액을 기판 위에 도포한 후 선택적으로 빛을 쪼이는 과정을 노광공정이라고 부른다. 감광액은 빛에 반응한다. 감광액에 현상액을 뿌리면 감광액은 선택적으로 사라진다. 빛에 노출된 부분이 녹는 양성(positve)과 노출되지 않은 부분이 녹는 음성(negative)으로 구분된다. 신너는 기판 주위 불순물 제거에 쓰인다. 감광액 사이 홈에 식각액을 흘리면 하부막에 패턴이 새겨진다. 식각후 남은 감광액은 박리액으로 없앤다.
<동진쎄미켐 중국 법인 현황 (자료:동진쎄미켐, 중국 전자공시)>
이종준기자 1964winter@etnews.com
