한국나노기술원이 8인치 화합물반도체 공정을 지원할 수 있는 장비를 구축한다. 또 사물인터넷(IoT) 발달에 따른 시스템 소자 수요 급증에 대응해 시스템소자 설계 환경과 시제품 제작 및 분석·신뢰성 인증에 이르는 개발 전주기 지원에 나선다.
한국나노기술원(원장 김희중)은 이 같은 나노팹 인프라 개선과 지원사업 및 분석·인증 서비스 사업 강화로 올해 중소기업 지원을 대폭 활성화할 계획이라고 11일 밝혔다.
팹 이용 기관을 지난해 350개에서 올해는 370개 이상으로 확대하고, 핵심나노공정 분석 기술개발도 지난해 14건에서 올해 16건으로 늘릴 예정이다.
나노팹 활용사업 활성화를 위해서는 최대 6인치까지 지원할 수 있었던 화합물반도체 장비를 8인치까지 지원할 수 있는 장비로 교체한다. 지멤스에서 IoT 센서 양산용 8인치 장비 15대를 기증받고, 28억원을 투입해 8인치 IoT 센서 및 미세전자기계시스템(MEMS) 일괄공정 플랫폼을 구축한다.
우선 올해 말까지 기증받은 장비 15대를 셋업하고 단위공정 기술을 개발할 계획이다. 대상 장비별 수요 고객을 발굴해 협력 방안을 마련하고, 8인치 일괄공정을 위한 보완장비도 구축한다.
내년에는 IoT 센서와 MEMS 수요 고객을 확보하고 단위 공정별 서비스를 진행한다. 고객과 공동연구개발 형태로 수요를 확대하고 MEMS 소자별 핵심공정기술을 개발하기로 했다.
이어 2018년까지는 8인치 IoT 센서 및 MEMS 공정 플랫폼을 구축하고 플랫폼 기반 단위·모듈·일괄공정 서비스를 시작할 계획이다.
이를 통해 기존 하이닉스에서 기증받은 장비와 더불어 일괄공정라인 구축, 8인치 IoT 센서 및 MEMS 산업 발전에 기여할 방침이다.
시스템소자 개발 전주기 지원을 위해서는 올해 3억원을 투입한다. 시스템소자 업체 DB를 구축하고 지원체계를 마련한다. 회로 및 소자설계부터 시작품 제작, 시험분석, 신뢰성 인증 단계까지 지원할 계획이다. 창업 5년 이하 기업에는 설계와 시작품 제작비 70%, 일반 기업은 50%까지 지원한다.
종합분석신뢰성인증센터 분석·인증 서비스도 강화한다. 산·학·연 대상 시험분석과 신뢰성 인증을 지원하고, 분석 및 신뢰성 인증기관과 협력해 해당 분야 공동연구 및 기술개발에 나설 계획이다.
한국나노기술원은 이밖에도 연구역량 강화 및 성과확산을 위해 화합물반도체 공정기술과 차세대 화합물-실리콘 융합반도체 개발 분야에 적극 참여한다. 고성능 플렉시블 III-V 화합물 반도체 소자 개발과 나노-바이오 융합기술 개발을 위한 유관기관 협력도 추진한다.
인프라를 활용한 나노 전문인력 양성과 교육기부사업도 지속한다. 미래부와 산업부 및 경기도와 도교육청, 고용노동부 지원을 받아 나노기술 전문인력 300명 이상 양성하고 팹장비 교육도 450명 이상 진행할 예정이다.
김희중 한국나노기술원장은 “지난해 기증받은 장비는 직접 사려면 200억원은 소요된다. 올해는 이 장비를 잘 설치해 운영하는 것이 급선무”라며 “장비 인프라를 개선하고 미래부 등에서 수주한 과제 등 현안과제를 충실히 수행할 계획”이라고 말했다.
김순기기자 soonkkim@etnews.com
