비코인스트루먼츠코리아(대표 한병무)는 갈륨나이트라이드(GaN)용 유기금속화학기상증착(MOCVD) 시스템 ‘터보디스크(TurboDisc) EPIK700’을 출시했다고 11일 밝혔다.
독자적인 터보 디스크 기술을 적용해 수용량이 종전보다 갑절 커졌으며 공정 균일성·생산성도 향상돼 웨이퍼 처리 용량이 2.5배 늘어났다. 전체 웨이퍼 캐리어에서 유량 공급과 온도 변화 특성이 균일하다. 기존 MOCVD 시스템을 이 제품으로 전환할 수도 있다.
짐 젠슨 비코 부사장은 “이 시스템으로 공간 효용성과 수율을 높이는 동시에 파장 균일성도 끌어올릴 수 있다”며 “동종 업계 제품 중 최고 수준의 생산성을 제공한다”고 말했다.
김주연기자 pillar@etnews.com
