[출연연 기술도 꿰어야 보배]<16>영상 기반 사용자 검출/전구체 상태 진단장치

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◇영상 기반 사용자 검출기술=한국전자통신연구원(ETRI) 인지기술연구팀이 개발했다.

실내외 카메라에서 캡처한 영상에서 사람의 앞 얼굴, 옆얼굴, 상반신, 전신을 각각 검출할 수 있다. 저사양 컴퓨팅 환경에서 근거리, 원거리에 있는 여러 명을 실시간 추출하는 것도 가능하다.

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표준과학연구원이 개발한 전구체 상태 진단장치.

정면, 옆얼굴 검출은 3m 이내 근거리(QVGA 입력영상 기준)에서 사용자의 얼굴이 보이는 환경에 적용할 수 있다.

상반신 검출은 얼굴이 보이지 않거나 3~5m 중거리에 있는 사용자 검출에 적합하다. 전신 검출은 7m 이상 원거리에서 얼굴이나 상반신이 매우 작게 보이는 사용자를 검출하는 데 활용할 수 있다.

얼굴, 상반신, 전신 검출기술을 융합해 활용할 수도 있다.

활용 분야는 영상보안, 인간로봇 상호작용, 개인화 서비스를 제공하는 스마트 환경, 광고 및 통계 등 다양하다.

연구진은 “이 기술을 이전받아 활용하는 사례가 있다”며 “특허는 모두 5건이 출원됐다”고 말했다.

문의 인지기술연구팀 (042)860-5873

◇전구체 상태 진단장치 제작기술=한국표준과학연구원 진공기술센터 강상우 박사 연구팀이 개발했다. 이 기술은 특허에 관한 라이선싱을 포함해 다양한 형태로 이전 가능하다.

전구체는 웨이퍼에 미세회로를 만들 때 금속박막을 입히기 위한 화합물이다. 반도체 공정 필수 소재지만, 열악한 환경에서 높은 증기압과 고순도, 화학적 안정성, 두께 조절능력 등을 갖춰야 하기 때문에 개발 과정이 까다롭다.

기존 기술은 제조공정 라인에서 전구체 기체가 사용되기 직전 변질 여부만 확인하는 수준이었다.

연구진은 유기금속 전구체 상태를 열악한 환경이나 실제 공정조건에서 실시간 분석할 수 있는 기술을 완성했다. 이 기술은 포집기 및 분석기를 이용해 정확한 전구체 성분량을 분석할 수 있다. 화학증착 공정에 사용하는 전구체 물질 자체의 열적, 화학적, 물리적 안정성 및 분해도 정보도 얻을 수 있다.

반도체 소자공정 전반에서도 전구체가 처할 한계상황을 조성할 수 있다.

연구진은 “이 기술로 전구체의 물성변화를 얻을 수 있어 유기금속 전구체를 사용하는 화학증착 공정에서 안정성 및 생산성, 재현성을 높일 수 있을 것”으로 내다봤다. 국내 특허를 보유하고 있다.

문의 기술사업화센터 (042)868-5410


대전=박희범기자 hbpark@etnews.com