KCC가 반도체용 포토마스크 석영유리기판 사업화 채비를 서두르고 있다. 포토마스크 석영유리기판은 주로 일본에서 전량 수입하던 소재로, KCC가 상업화에 성공하면 국내 처음이다.
3일 업계에 따르면 KCC(대표 정몽진)는 최근 연구소 차원에서 반도체·LCD용 포토마스크 석영유리기판 제조 기술을 양산 전단계 수준으로 끌어올렸다. 현재 기판 잉곳 크기는 당초 개발 목표였던 지름 210㎜보다 큰 230㎜까지 구현했다. 기판 크기는 목표대로 두께 6㎜에 6인치(152㎜×152㎜)를 개발했다. 광투과율은 원래 개발 목표였던 90%를 뛰어넘는 93%까지 향상시키는 등 광학적 특성도 개선했다. 열 팽창률과 변형 온도 등 열적 특성도 상업화 수준에 근접했다. 다만 아직 내화학성이 당초 개발 목표에 못 미치는 정도다.
KCC가 개발중인 반도체용 포토마스크 석영유리기판은 신에츠·토슈·니콘·코밸런트 등 일본 소재 업체들로부터 주로 수입해왔다. 업계 추산 세계 시장 규모는 올해 1조3160억원에 달하고, 국내 시장 규모만 1645억원에 이를 것으로 관측된다. KCC는 지난 2009년부터 연구개발에 착수했으며 최종 연구개발에 성공하면 내년 중 양산 투자를 결정할 예정이다.
서한기자 hseo@etnews.com
