국가핵융합연구소 융복합플라즈마연구센터는 1건의 기술을 지난해 아바코에 이전하고, 이달내 이이시스와 경원테크 등에 각각 1건씩을 추가로 이전할 방침이다.
지난해 아바코에 이전한 기술은 반도체 및 디스플레이의 박막제조 장비인 스퍼터 제조기술이다.
이 기술은 플라즈마의 특성을 3차원으로 시뮬레이션할 수 있다. 2차원 시뮬레이션으로 파악할 수 없는 물리적 특성까지 해석할수 있어 스파터 음극의 성능을 향상시키는 장점이 있다. 스퍼터 음극의 활용 효율은 현재 30% 정도밖에 되지 않지만, 이 기술을 활용할 경우 효율을 50%까지 끌어 올릴 수 있다.
이 센터는 기술개발 과정에서 발생한 유형적 발생 제품과 노하우, 3차원 시뮬레이션을 위한 시스템 구축, 관련 인력 교육훈련을 지원했다.
이 센터는 또 이달 내 기술이전 계약 2건을 체결한다.
이이시스에는 디젤자동차 배출가스 처리시스템 전처리장치에 관한 기술과 노하우가 이전된다. 이 센터는 최초로 선-원통형 펄스코로나 플라즈마를 이용해 디젤 차량 배기가스 저감에 성공했다. 촉매 전처리용 펄스코로나 방전이 시도된 것은 처음이다.
전처리 장치와 함께 차량용 배터리 전원으로 500 W급 펄스고전압전원장치도 함께 이전한다. 현재까지 동일 입력조건에서 고전압 교류전원장치가 개발된 사례는 있었으나 재연성이 우수한 전압파형의 펄스전원장치가 개발된 사례는 없었다. 이는 고전하고 있는 차량배기가스 정화연구에 새로운 가능성을 제시했다는 평가를 받고 있다.
운송용 디젤엔진을 쓰는 차량, 선박, 열차 등의 배기가스 저감에 유용할 것으로 연구진들은 보고 있다.
이와함께 경원테크에 이전할 기술은 반도체 및 디스플레이 제조 공정 중 플라즈마가 사용되는 증착, 식각, 스퍼터링 등의 공정에 사용되는 원자 및 분자의 반응계수 모듈이다.
연구센터 관계자는 “플라즈마 소스와 에칭 공정, 반도체 막 형성 공정용 데이터 등이 이전된다”고 말했다.
대전=박희범기자 hbpark@etnews.co.kr
