한국기계연구원(KIMM·원장 이상천)이 개발한 나노측정 기술이 국제전기기술위원회 (IEC)의 국제표준 기술로 채택됐다.
국내에서 개발한 나노측정 기술이 국제표준으로 채택되기는 이번이 처음이다.
기계연은 이학주 박사팀이 개발한 나노측정 기술인 ‘띠굽힘시험법’을 IEC가 미세전자기계시스템(MEMS) 분야 국제표준으로 선정하고, 최근 홈페이지(http://www.iec.ch)에 사전공표했다고 31일 밝혔다.
나노측정기술은 나노 크기 소재의 기계적, 전자기적, 광학물성 등을 측정하고 평가하는 기술로, 나노공정기술을 실제 제품 생산에 적용할 때 필수적이다.
이학주 박사는 “지금까지는 나노구조물의 측정이 어려워 마이크로·나노구조물 상용화에 걸림돌이 돼왔으나, 이번 국제표준 채택으로 신뢰성 문제 해결은 물론 우리나라가 13조5000억원 규모의 세계 나노측정기술 산업을 주도하는 계기를 마련하게 됐다”고 밝혔다.
이학주 박사팀은 10㎚급 나노측정 원천기술을 보유하고 있으며, 이외에도 미소 기둥 압축시험법, 박막의 열팽창계수 측정법을 개발하는 등 박막의 기계적 물성 측정법 분야에서 기술표준원의 지원을 받아 국제표준을 주도하고 있다.
대전=박희범기자 hbpark@etnews.co.kr
