주성엔지니어링, 세계 1위 장비업체와 특허 소송서 승소

　국내 반도체·디스플레이 장비 업체인 주성엔지니어링이 7년간에 걸친 미국 경쟁업체와의 특허 침해 소송에서 승리, 주력 LCD 장비인 플라즈마화학증착장비(PECVD) 수출 확대를 위한 전기를 마련했다.

　주성엔니지어링(대표 황철주)은 세계 1위의 반도체 및 디스플레이 장비업체인 미국 어플라이드머티리얼스(이하 AMAT)가 대만 지방법원에 제기한 특허 소송 1심 판결에서 승소했다고 10일 밝혔다.

　AMAT는 지난 2003년 12월 주성엔지니어링을 상대로 ‘플라즈마 체임버의 현가식 가스 분배 매니폴드’ 특허를 침해했다는 이유로 LCD용 PECVD의 판매 및 수입통관 금지 가처분을 신청하고, 2004년에는 특허침해금지 소송을 제기한 바 있다.

　대만 법원은 지난 2004년 AMAT가 제기한 특허권 침해 관련 판매금지 가처분 신청에 대해 무혐의 판정을 내려 주성의 손을 들어준 바 있다. 이어 대만 지방법원 재판부는 최근 주성의 장비와 관련 기술은 AMAT가 특허 침해라고 주장한 청구 범위에 속하지 않는다고 판단, 1심에서 원고신청 기각결정을 내렸다.

　이에 따라 주성엔지니어링의 PECVD 해외 수출이 활기를 띨 전망이다. 이 회사의 PECVD는 LG디스플레이 7, 8세대 라인에 꾸준히 적용돼 성능과 안정성을 인정받았지만, 해외 수출은 부진했던 것이 사실이다.

　이는 대만·중국 등 해외 고객사들이 AMAT와의 특허 소송과 관련해 우려를 표명했던 것도 주요 원인이었던 것으로 알려졌다.

　주성엔지니어링 관계자는 “승소한 특허침해금지 소송과는 별도로 상대방의 특허에 대한 무효 소송도 진행 중인 상태”라며 “7년이라는 오랜 시간이 소요되었지만 주성의 독자적 기술력이 제대로 입증받은 것”이라고 밝혔다. 또 “이 소송은 주성엔지니어링의 시장 진입 저지를 위한 상대방의 영업 전략이었다고 여겨진다”며 “그동안 고객의 오해에 따른 시장 불이익도 많았던 만큼 앞으로 마케팅 강화에 박차를 가할 것”이라고 덧붙였다.

　한편 AMAT의 항소 여부는 아직 확인되지 않았다.

양종석기자 jsyang@etnews.co.kr