캐보트, 국내에 CMP슬러리 공장 설립키로

세계 반도체 웨이퍼 평탄화 소재(CMP슬러리) 1위 업체인 캐보트가 경기도에 생산시설을 구축한다.

미국을 방문 중인 경기도 투자유치 대표단(단장 김문수 도지사)은 27일 8시30분(현지시간), 일리노이주 오로라에 소재하고 있는 반도체 원판 연마제 제조기업 캐보트마이크로일렉트로닉스(Cabot Microelectronics · 대표 윌리엄 노글로우)를 방문, 경기도내 반도체 CMP 공정용 연마제 제조거점 및 연구시설 설립에 대한 투자협약(MOU)을 체결했다고 밝혔다.

이번 투자협약에 따라 캐보트는 약 1000만 달러를 투입, 평택 오성산업단지내 2000 여평에 반도체 CMP슬러리(반도체 원판 평탄화 작업용 액체) 및 패드 제조시설과 무기화합물 연구시설을 설립할 계획이다.

CMP(Chemical Mechanical Polishing) 공정은 반도체 웨이퍼를 연마 패드 위에 접촉하도록 한 상태에서 연마제(슬러리)를 공급해 웨이퍼 표면의 요철 부분을 평탄화하는 공정으로 반도체 미세화 추세와 맞물려 점차 공정의 중요성이 높아지고 있다.

캐보트마이크로일렉트로닉스는 반도체 CMP 공정용 무기 화합물 및 패드를 생산하는 기업으로서, 화학 회사인 캐보트의 사업부에서 독립하여 2000년 설립된 젊은 기업이다. 현재 전체 직원 925명 가운데 약 25%가 개발인력으로 새로운 상품 개발을 위한 R&D에 지속적인 투자를 하고 있다.

경기도 측은 “캐보트가 국내에 생산시설과 연구시설을 구축함으로써 삼성전자, 하이닉스 등은 반도체용 무기화합물을 안정적으로 공급받는 것은 물론이고 상호 협력을 통해 나노급 반도체 제품의 수율과 신뢰성 향상에도 기여할 것으로 기대된다”고 밝혔다.

유형준 · 김순기기자 hjyoo@etnews.co.kr