핵심장비도 기술 독립 `성큼`

LG디스플레이가 현재 구축 중인 세번째 8세대 LCD 양산라인 ‘P8E+’에 국산 스퍼터를 절반 이상 채택했다. 스퍼터는 LCD 패널의 박막트랜지스터(TFT)를 형성하기 위해 금속막을 성막하는 장비로 플라즈마화학증착기(PECVD), 노광기와 함께 3대 핵심 전공정 장비로 꼽힌다. 대당 가격만 100억원에 이른다. 특히 지난해까지 국내 8세대 라인에서 국산 스퍼터 시장 점유율은 전무했다. 국내 LCD기업들이 제품 생산을 시작한 지 17년 만에 사실상 노광기를 제외한 모든 디스플레이 장비 분야에서 명실상부한 기술 독립국으로 발돋움했다는 평가다.

LG디스플레이(대표 권영수)는 P8E+의 국산 스퍼터 비중이 과반을 넘었다고 23일 밝혔다. 현재 국내 LCD 양산 라인의 스퍼터 국산화율은 20% 선으로 이번에 LG디스플레이가 처음으로 과반 이상의 국산화율을 달성했다. 이번에 공급되는 스퍼터는 지난 2006년 스퍼터 국산화에 처음 성공한 아바코 제품이다.

LG디스플레이 관계자는 “그동안 8세대 양산 라인에서 운용성과 성능을 검증한 국산 스퍼터를 P8E+에서는 과반 이상 채택했다”며 “지난 2006년 최초로 스퍼터를 최초로 국산화한 이후 꾸준한 성능 개선이 이뤄진데 따른 것”이라고 밝혔다.

특히 이번에 아바코가 공급하는 스퍼터는 TFT 어레이 공정의 투명(ITO) 코팅 및 메탈 공정에 모두 사용되는 것으로 알려졌다. 또 컬러 필터 공정에 사용되는 스퍼터도 아바코가 단독으로 공급했다.

아바코 관계자는 “지난 2006년 스퍼터를 국내 최초로 개발한 이후 6세대 및 8세대 대면적 양산 라인에서 그 성능을 입증했다”며 “이 같은 성과를 바탕으로 국내 LCD 양산 라인에서 최초로 절반 이상을 공급하게 됐다”고 밝혔다.

이 회사의 스퍼터는 최적 설계로 장비 무게를 가볍게 하고 유리기판의 비접촉 반송이 가능한 시스템으로 공정 시간을 단축한 것이 특징이다. 또 유리기판이 들어가는 챔버내 부품을 최소화하고 이동형 성막 공정으로 시간과 성막 효율성도 크게 높였다.

LG디스플레이가 8세대 라인에 국산 스퍼터를 대거 채택함으로써 향후 중국에서 투자되는 8세대 라인에서도 국산 스퍼터 채택이 크게 늘 것으로 기대된다.

양종석기자 jsyang@etnews.co.kr