엑시트론, 대만에 4인치 MOCVD 공급

독일 유기금속화확증착장비(MOCVD) 전문업체 엑시트론(지사장 최은숙)은 대만 발광다이오드(LED) 전문업체 ‘세미레드’에 4인치 에피웨이퍼용 MOCVD를 공급한다고 18일 밝혔다.

이번에 공급될 장비는 세미레드의 LED 에피웨이퍼·칩 신규 라인에 반입될 예정으로 ‘CCS’ 기술이 적용됐다.

이 회사의 CCS타입 MOCVD는 증착 균일도를 높이기 위해 반응기 안쪽 가스 주입구를 마치 사워기처럼 수많은 구멍이 뚫린 형태로 제작한다.

안석현기자 ahngija@etnews.co.kr