NF3, 온실가스 등록 대비 여론 고조

반도체·LCD 제조에 다량 쓰이는 삼불화질소(NF3)가 이산화탄소(CO2) 대비 온난화 유발효과가 큰 것으로 밝혀지면서 온실가스로 지정해야 한다는 여론이 높아졌다. 아직 연구소 차원에서 제기된 수준이지만 NF3가 국내 대표 수출산업에 활용도가 크다는 측면에서 미리 대비책을 마련해야 한다는 지적이다.

8일 환경컨설팅 업계 및 연구소 등에 따르면 최근 NF3의 온난화 유발문제가 제기되면서 NF3를 온실가스로 지정해야 한다는 의견이 설득력을 얻고 있다. NF3는 반도체·LCD 제조 공정에서 표면 세척을 위해 다량 쓰이는 산업용 특수가스다. 최근 생산량이 늘어난 비정질실리콘(a-Si) 박막 태양전지 생산에도 다량 소모된다. 문제는 NF3의 지구온난화지수(GWP)가 CO2대비 월등히 높다는 점이다. CO2의 GWP를 1로 봤을 때 NF3의 경우 1만2000∼2만에 육박한다는 게 전문가들 의견이다. 종전에는 NF3의 대기중 농도가 높지 않아 크게 문제가 된 적이 없다. 그러나 최근 미국 캘리포니아 스크립스 해양연구소가 발표한 보고서에 따르면 과거 30년간 대기중 NF3 농도는 0.02ppt에서 0.454ppt로 증가했다. 20배 이상 폭증한 셈이다. 현재 대기에는 5400톤 정도의 NF3가 존재하며 이는 CO2 6700만 톤에 해당한다고 보고서는 덧붙였다.

이에 따라 NF3를 다량 사용하는 국내 산업계도 미리 대비해야 한다는 지적이 제기됐다. 국내서는 삼성전자·LG디스플레이·하이닉스 등이 반도체·LCD 생산에 NF3를 사용하고 있으며 소디프신소재가 자가 생산설비를 갖추고 있다. 현재 국내 LCD 업계의 경우 800℃ 이상에서 소멸되는 NF3특성을 감안, 사용한 가스를 가열하는 방법으로 처리하고 있다. 환경부 관계자는 “아직 기후변화에 대한 정부간 협의체인 IPCC나 유엔기후변화협약(UNFCC) 등에서 NF3의 온실가스 지정에 관해 논의된 바는 없다”면서도 “문제점이 제기된 만큼 실정을 파악해볼 필요는 있다”고 말했다.

안석현기자 ahngija@etnews.co.kr